公开(公告)号：CN104335096B

公开(公告)日：2018-08-28

申请号：CN201380026836.2

申请日：2013-05-07

Applicant: 卡尔蔡司SMT有限责任公司

Inventor： S.比林 ,  M.德冈瑟 ,  J.万格勒

IPC: G02B17/00 ,  G02B19/00 ,  G02B27/09 ,  G02B27/14 ,  G03F7/20

CPC classification number: G03F7/702 ,  G02B5/0284 ,  G02B5/0891 ,  G02B5/09 ,  G02B5/1861 ,  G02B17/002 ,  G02B19/0023 ,  G02B19/0047 ,  G02B19/0095 ,  G03F7/70075 ,  G03F7/70191 ,  G03F7/70575

Abstract: 一种投射曝光设备(1)中照明物场(5)的照明光学单元(4)，包括：具有一结构的第一分面反射镜(13)，该结构在至少一个方向上具有至少0.2mm‑1的空间频率；以及第二分面反射镜(14)，其包括多个分面(14a)，其中所述分面(14a)分别设有抑制所述第一分面反射镜(13)的结构的空间频率的装置。

公开(公告)号：CN104769501B

公开(公告)日：2017-03-08

申请号：CN201380057059.8

申请日：2013-10-07

Applicant: 卡尔蔡司SMT有限责任公司

Inventor： J.万格勒 ,  J.艾森门格 ,  M.德冈瑟 ,  M.帕特拉

IPC: G03F7/20 ,  G02B26/08

CPC classification number: G03F7/70033 ,  G01B11/14 ,  G01M11/005 ,  G02B26/0833 ,  G02B27/62 ,  G03F7/70075 ,  G03F7/70116 ,  G03F7/7085

Abstract: 一种光学系统，包括：反射镜系统(19)，包括多个反射镜元件(23)，其中，所述反射镜元件的取向可以独立于彼此设定；以及监视系统(52)，构造成确定所述反射镜元件(23)的取向。所述监视系统包括：监视辐射源(57)，构造成以具有多个不同波长的光(55)照明所述多个反射镜元件；监视透镜(59)，具有物平面(61)、像平面(63)以及布置在所述物平面和所述像平面之间的光瞳平面(77)；滤色器(78)，在不同位置处具有彼此不同的依赖于波长的透射属性；以及空间解析和波长解析光检测器(67)，具有检测区(65)；其中，所述反射镜元件(23)布置在所述监视透镜(59)的物平面(61)的区域中；其中，所述光检测器像平面(63)的区域中；以及其中，所述滤色器(78)布置在所述监视透镜(59)的光瞳平面(77)的区域中。(67)的检测区(65)布置在所述监视透镜(59)的

公开(公告)号：CN104335096A

公开(公告)日：2015-02-04

申请号：CN201380026836.2

申请日：2013-05-07

Applicant: 卡尔蔡司SMT有限责任公司

Inventor： S.比林 ,  M.德冈瑟 ,  J.万格勒

IPC: G02B17/00 ,  G02B19/00 ,  G02B27/09 ,  G02B27/14 ,  G03F7/20

CPC classification number: G03F7/702 ,  G02B5/0284 ,  G02B5/0891 ,  G02B5/09 ,  G02B5/1861 ,  G02B17/002 ,  G02B19/0023 ,  G02B19/0047 ,  G02B19/0095 ,  G03F7/70075 ,  G03F7/70191 ,  G03F7/70575

Abstract: 一种投射曝光设备(1)中照明物场(5)的照明光学单元(4)，包括：具有一结构的第一分面反射镜(13)，该结构在至少一个方向上具有至少0.2mm-1的空间频率；以及第二分面反射镜(14)，其包括多个分面(14a)，其中所述分面(14a)分别设有抑制所述第一分面反射镜(13)的结构的空间频率的装置。

公开(公告)号：CN104769501A

公开(公告)日：2015-07-08

申请号：CN201380057059.8

申请日：2013-10-07

Applicant: 卡尔蔡司SMT有限责任公司

Inventor： J.万格勒 ,  J.艾森门格 ,  M.德冈瑟 ,  M.帕特拉

IPC: G03F7/20 ,  G02B26/08

CPC classification number: G03F7/70033 ,  G01B11/14 ,  G01M11/005 ,  G02B26/0833 ,  G02B27/62 ,  G03F7/70075 ,  G03F7/70116 ,  G03F7/7085

Abstract: 一种光学系统，包括：反射镜系统(19)，包括多个反射镜元件(23)，其中，所述反射镜元件的取向可以独立于彼此设定；以及监视系统(52)，构造成确定所述反射镜元件(23)的取向。所述监视系统包括：监视辐射源(57)，构造成以具有多个不同波长的光(55)照明所述多个反射镜元件；监视透镜(59)，具有物平面(61)、像平面(63)以及布置在所述物平面和所述像平面之间的光瞳平面(77)；滤色器(78)，在不同位置处具有彼此不同的依赖于波长的透射属性；以及空间解析和波长解析光检测器(67)，具有检测区(65)；其中，所述反射镜元件(23)布置在所述监视透镜(59)的物平面(61)的区域中；其中，所述光检测器(67)的检测区(65)布置在所述监视透镜(59)的像平面(63)的区域中；以及其中，所述滤色器(78)布置在所述监视透镜(59)的光瞳平面(77)的区域中。