公开(公告)号：CN106030412B

公开(公告)日：2019-12-24

申请号：CN201580009193.X

申请日：2015-02-10

Applicant: 卡尔蔡司SMT有限责任公司

Inventor： M.德冈瑟 ,  V.达维登科 ,  T.科布 ,  J.艾森门格

IPC: G03F7/20

Abstract: 本发明涉及一种光刻投影曝光设备(12)的照明系统，其包括设置成产生光脉冲(42‑1至42‑3；42‑1,42‑2,52‑1,52‑2)序列的光源(LS；LS1,LS2)。该照明系统另外包括能够在两个切换位置之间进行数字切换的光学元件(32)的阵列(28)。控制器(34)这样控制光学元件(32)，使得这些光学元件仅在两个彼此相继的光脉冲之间改变它们的切换位置并且在光脉冲期间保持它们的切换位置。

公开(公告)号：CN106030412A

公开(公告)日：2016-10-12

申请号：CN201580009193.X

申请日：2015-02-10

Applicant: 卡尔蔡司SMT有限责任公司

Inventor： M.德冈瑟 ,  V.达维登科 ,  T.科布 ,  J.艾森门格

IPC: G03F7/20

Abstract: 本发明涉及一种光刻投影曝光设备(12)的照明系统，其包括设置成产生光脉冲(42‑1至42‑3；42‑1,42‑2,52‑1,52‑2)序列的光源(LS；LS1,LS2)。该照明系统另外包括能够在两个切换位置之间进行数字切换的光学元件(32)的阵列(28)。控制器(34)这样控制光学元件(32)，使得这些光学元件仅在两个彼此相继的光脉冲之间改变它们的切换位置并且在光脉冲期间保持它们的切换位置。