公开(公告)号：CN221028762U

公开(公告)日：2024-05-28

申请号：CN202322799243.3

申请日：2023-10-18

Applicant: 厦门钨业股份有限公司

Inventor： 郭杰 ,  王录生 ,  林霞 ,  蔡妙玲 ,  温静 ,  廖达强 ,  李黄欣 ,  庄击勇 ,  郑燕青

IPC: C30B11/00

Abstract: 本申请公开了一种晶体生长装置，涉及晶体生长技术领域。晶体生长装置包括炉体、支撑组件、升降驱动机构以及稳流板。炉体形成炉腔，炉体的内侧设置有加热组件；支撑组件包括载物台与支撑轴，载物台位于炉腔内，用于放置坩埚，支撑轴的一端连接于载物台底部。升降驱动机构用于使炉体相对于支撑组件升降。稳流板位于炉腔内且间隔地设置于位于载物台的上方，可随载物台相对于炉体升降。在载物台下降时，稳流板可以随载物台一同下降，使得坩埚以上的空间不会过大，减小了空气流动，因此温度场更为稳定，有利于提高晶体生长质量。此外，由于设置了稳流板，还有利于减少晶体生长装置的能耗。