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发明公开
在腔体检查缺陷的系统及其方法审中-实审

公开(公告)号：CN110530870A

公开(公告)日：2019-12-03

申请号：CN201910321869.9

申请日：2019-04-22

Applicant: 塞米西斯科株式会社

Inventor： 李淳钟 , 李东锡 , 洪载和 , 申河荣 , 李镕式

IPC: G01N21/88

Abstract: 公开缺陷检查系统及其方法。检查出检查对象物的边缘有无缺陷的缺陷检查系统包括：光源部；及利用所述光源部照射的光在配置有检查对象物的移送部件的上部拍摄所述检查对象物以检查出所述检查对象物有无缺陷的摄像头，所述摄像头可在腔体内部及腔体外部中至少一个拍摄所述检查对象物。本发明能够在腔体准确地检测出检查对象物的边缘。并且，本发明的目的是提供以非接触非破坏方式在腔体内部密闭的真空状态下也能够检查出检查对象物边缘有无缺陷。

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