公开(公告)号：CN104025278B

公开(公告)日：2017-03-29

申请号：CN201280064260.4

申请日：2012-12-20

Applicant: 夏普株式会社

Inventor： 西村直树 ,  佐藤重光 ,  大空弘树 ,  金子俊则

IPC: H01L21/677 ,  C23C14/00 ,  C23C14/56 ,  C23C16/44

CPC classification number: C23C16/54 ,  H01L21/67017 ,  H01L21/67201

Abstract: 装载闭锁装置(1)具备：装载闭锁室(4)，其构成为内部能被真空排气，收纳处理对象物(S)；支撑台(13)，其收纳于装载闭锁室(4)的内部，支撑处理对象物(S)；以及慢速通气单元(15)，其设置于装载闭锁室(4)，向处于真空状态的装载闭锁室(4)的内部供应通气气体，使装载闭锁室(4)的内部切换为大气压状态。慢速通气单元(15)相对于支撑台(13)左右对称地配置。

公开(公告)号：CN104025278A

公开(公告)日：2014-09-03

申请号：CN201280064260.4

申请日：2012-12-20

Applicant: 夏普株式会社 ,  株式会社爱发科

Inventor： 西村直树 ,  佐藤重光 ,  大空弘树 ,  金子俊则

IPC: H01L21/677 ,  C23C14/00 ,  C23C14/56 ,  C23C16/44

CPC classification number: C23C16/54 ,  H01L21/67017 ,  H01L21/67201

Abstract: 装载闭锁装置(1)具备：装载闭锁室(4)，其构成为内部能被真空排气，收纳处理对象物(S)；支撑台(13)，其收纳于装载闭锁室(4)的内部，支撑处理对象物(S)；以及慢速通气单元(15)，其设置于装载闭锁室(4)，向处于真空状态的装载闭锁室(4)的内部供应通气气体，使装载闭锁室(4)的内部切换为大气压状态。慢速通气单元(15)相对于支撑台(13)左右对称地配置。