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公开(公告)号：CN106918308A
公开(公告)日：2017-07-04
申请号：CN201611166680.X
申请日：2016-12-16
Applicant: 大塚电子株式会社
Abstract: 本发明提供能抑制误差的预倾角测定装置及预倾角测定方法。预倾角测定装置(1)具备：透射测定投光部(2)，其向液晶基板(LC)的测定位置(M)照射偏振的测定光；透射测定受光部(3)，其接收测定光的透射光，获取透射光的偏振状态；倾斜测定投光部(41)，其向液晶基板(LC)的测定位置(M)照射倾斜检测用光(L1)；倾斜测定受光部(43)，其接收倾斜检测用光(L1)的反射光(L2)，获取反射光(L2)的受光位置；和控制部(10)，其根据反射光(L2)的受光位置，算出液晶基板(LC)的测定位置(M)的倾角，根据测定光的照射角度、液晶基板(LC)的测定位置(M)的倾角和透射光的偏振状态，算出液晶基板(LC)中所含的液晶分子的预倾角。
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公开(公告)号：CN111486794B
公开(公告)日：2024-02-13
申请号：CN202010074101.9
申请日：2020-01-22
Applicant: 大塚电子株式会社
Abstract: 本发明提供一种光学测定系统和光学测定方法，提供一种针对在以往的光学测定装置中测定精度可能降低的样品也能够更高精度地测定光学特性的结构。光学测定系统包括：光源，其发出用于向样品照射的测定光；分光检测器，其接收由测定光在样品处产生的反射光或透射光；以及处理装置，其被输入分光检测器的检测结果。处理装置构成为能够执行以下处理：基于分光检测器的检测结果，来计算第一光谱；在第一光谱中确定与波长有关的振幅的变化满足规定条件的区间；以及使用从第一光谱去除所确定的区间的信息所得到的第二光谱，来计算样品的光学特性。
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公开(公告)号：CN116075685A
公开(公告)日：2023-05-05
申请号：CN202080103671.4
申请日：2020-09-01
Applicant: 大塚电子株式会社
Inventor： 稻野大辅
IPC: G01B11/06
Abstract: 提供一种测定试样中包含的层的厚度即膜厚的光学测定系统。光学测定系统包括：光源，其产生测定光；受光部，其通过接收将测定光照射于试样而产生的反射光或透过光来作为观测光；探针，其与光源及受光部以光学方式连接，所述探针能够配置于任意位置；膜厚计算部，其根据基于受光部的检测结果计算出的分光反射率或分光透过率，来计算试样的膜厚；以及可靠度计算部，其计算测定可靠度，所述测定可靠度表示由膜厚计算部计算的膜厚是以何种程度适当地测定出的膜厚。
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公开(公告)号：CN116097070A
公开(公告)日：2023-05-09
申请号：CN202180053824.3
申请日：2021-08-30
Applicant: 大塚电子株式会社
IPC: G01J3/02
Abstract: 提供一种测定试样的分光反射率的光学测定系统。光学测定系统包括：光源，其产生测定光；受光部，其接收通过将测定光照射于试样而产生的光来作为观测光；探针，其与光源及受光部以光学方式连接，所述探针能够配置于任意位置；以及运算处理部，其基于受光部的检测结果来测定试样的分光反射率，计算基于测定出的分光反射率的测定结果。探针包括：主体部，其供用户把持；以及挠性部，其能够以使测定光能够相对于试样垂直入射的方式弯曲。
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公开(公告)号：CN106918308B
公开(公告)日：2020-10-02
申请号：CN201611166680.X
申请日：2016-12-16
Applicant: 大塚电子株式会社
Abstract: 本发明提供能抑制误差的预倾角测定装置及预倾角测定方法。预倾角测定装置(1)具备：透射测定投光部(2)，其向液晶基板(LC)的测定位置(M)照射偏振的测定光；透射测定受光部(3)，其接收测定光的透射光，获取透射光的偏振状态；倾斜测定投光部(41)，其向液晶基板(LC)的测定位置(M)照射倾斜检测用光(L1)；倾斜测定受光部(43)，其接收倾斜检测用光(L1)的反射光(L2)，获取反射光(L2)的受光位置；和控制部(10)，其根据反射光(L2)的受光位置，算出液晶基板(LC)的测定位置(M)的倾角，根据测定光的照射角度、液晶基板(LC)的测定位置(M)的倾角和透射光的偏振状态，算出液晶基板(LC)中所含的液晶分子的预倾角。
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公开(公告)号：CN111486794A
公开(公告)日：2020-08-04
申请号：CN202010074101.9
申请日：2020-01-22
Applicant: 大塚电子株式会社
Abstract: 本发明提供一种光学测定系统和光学测定方法，提供一种针对在以往的光学测定装置中测定精度可能降低的样品也能够更高精度地测定光学特性的结构。光学测定系统包括：光源，其发出用于向样品照射的测定光；分光检测器，其接收由测定光在样品处产生的反射光或透射光；以及处理装置，其被输入分光检测器的检测结果。处理装置构成为能够执行以下处理：基于分光检测器的检测结果，来计算第一光谱；在第一光谱中确定与波长有关的振幅的变化满足规定条件的区间；以及使用从第一光谱去除所确定的区间的信息所得到的第二光谱，来计算样品的光学特性。
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