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公开(公告)号：CN102954765B
公开(公告)日：2016-12-21
申请号：CN201210285463.8
申请日：2012-08-10
Applicant: 大塚电子株式会社
CPC classification number: G01B11/06 , G01B11/0625 , G01B11/0641 , G01N21/211 , G01N2021/213
Abstract: 本发明提供一种光学特性测量装置以及光学特性测量方法。光学特性测量装置(100)具备光源(10)、检测器(40)以及数据处理部(50)。数据处理部(50)具备建模部、分析部以及拟合部。将多个膜模型方程式联立，假设包含在多个膜模型方程式中的光学常数相同来进行规定的运算，通过进行将算出的膜的膜厚以及光学常数代入膜模型方程式而获得的波形与由检测器(40)获取的波长分布特性的波形的拟合来判定包含在多个膜模型方程式中的光学常数是否相同，由分析部算出的膜的膜厚以及光学常数是否为正确的值。
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公开(公告)号：CN106990052B
公开(公告)日：2021-07-27
申请号：CN201611160666.9
申请日：2016-12-15
Applicant: 大塚电子株式会社
Abstract: 提供一种能够实现小型化且提高了通用性的光学特性测定装置以及光学系统。光学特性测定装置包含：第一光学元件，其将来自被测定物的测定光变换为平行光；反射型透镜，其通过反射来自第一光学元件的平行光来将该平行光变换为会聚光；受光部，其接收来自反射型透镜的会聚光；以及驱动机构，其使第一光学元件相对于被测定物的相对位置变化。
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公开(公告)号：CN112710393A
公开(公告)日：2021-04-27
申请号：CN202011149855.2
申请日：2020-10-23
Applicant: 大塚电子株式会社
IPC: G01J3/28
Abstract: 本发明通过一种光学测定装置、波长校正方法以及标准试样。光学测定装置包括以下单元：理论干涉谱获取单元，其获取基于标准试样的已知的厚度、折射率以及消光系数进行数学计算得出的、关于该标准试样的反射率干涉谱或透过率干涉谱来作为理论干涉谱；实测干涉谱获取单元，其获取利用受光器经由衍射光栅接收对标准试样照射测定光而产生的反射光或透过光所生成的反射率干涉谱或透过率干涉谱来作为实测干涉谱；关联信息获取单元，其获取用于决定理论干涉谱与实测干涉谱的关于波长的关联的关联信息；以及波长校正单元，其参照关联信息将用于规定多个受光元件的波长值的波长校正式决定为使对实测干涉谱应用波长校正式所得到的结果与理论干涉谱一致。
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公开(公告)号：CN108204788B
公开(公告)日：2021-11-02
申请号：CN201711363844.2
申请日：2017-12-18
Applicant: 大塚电子株式会社
Abstract: 本发明使基于来自样本的光的样本的光学特性的测定容易进行。光学特性测定装置(1、1A)具备光学系统(12)、检测部(13)以及解析部(14)。光学系统对从样本(2)射入的检测光进行聚光。检测部对在样本与光学系统之间的光学距离相互不同的状态下经由光学系统射入的样本的检测光进行多次分光，生成表示各检测光的光谱的多个检测数据(D1)。解析部解析检测数据所示的光谱，测定样本的规定的光学特性。解析部基于多个检测数据中的检测光的大小，确定用于光学特性的测定的检测数据，基于所确定的检测数据，测定光学特性(S6、S6A)。
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公开(公告)号：CN113494889A
公开(公告)日：2021-10-12
申请号：CN202110378953.1
申请日：2021-04-08
Applicant: 大塚电子株式会社
Abstract: 一种光学测定系统和光学测定方法。光学测定系统包括：光源，其用于产生测定光；受光部，其接收对试样照射测定光而产生的反射光或透射光来作为观测光；获取单元，其获取观测光中包含的波长范围内的、被设定为两端的相位相同的波长区间的观测光光谱；初始值决定单元，其基于在对观测光光谱进行傅立叶变换而得到的功率谱中出现的峰的位置，来决定试样的膜厚的初始值；拟合单元，其以使根据包含膜厚作为参数的试样的模型计算出的干涉光谱与观测光光谱一致的方式对模型的参数进行更新，来决定试样的膜厚；以及判断单元，其判断所决定的该膜厚是否满足基于先前获取到的膜厚的条件。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN113532296A
公开(公告)日：2021-10-22
申请号：CN202110399632.X
申请日：2021-04-14
Applicant: 大塚电子株式会社
IPC: G01B11/06
Abstract: 本发明涉及一种光学测定系统、多层膜制造装置和光学测定方法。光学测定系统包括：光源，其用于产生测定光；受光部，其接受向试样照射测定光产生的反射光或透射光作为观测光；以及生成部，其基于表示试样的最上层的光学特性的第一矩阵和表示试样的除最上层以外的层的光学特性的第二矩阵来生成理论干涉光谱。光学测定系统还包括：拟合部，其以使理论干涉光谱与观测光的光谱即实测干涉光谱一致的方式更新试样的最上层的膜厚，由此决定该膜厚；以及更新部，其使用由拟合部决定出的膜厚来更新第二矩阵。
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公开(公告)号：CN111486794A
公开(公告)日：2020-08-04
申请号：CN202010074101.9
申请日：2020-01-22
Applicant: 大塚电子株式会社
Abstract: 本发明提供一种光学测定系统和光学测定方法，提供一种针对在以往的光学测定装置中测定精度可能降低的样品也能够更高精度地测定光学特性的结构。光学测定系统包括：光源，其发出用于向样品照射的测定光；分光检测器，其接收由测定光在样品处产生的反射光或透射光；以及处理装置，其被输入分光检测器的检测结果。处理装置构成为能够执行以下处理：基于分光检测器的检测结果，来计算第一光谱；在第一光谱中确定与波长有关的振幅的变化满足规定条件的区间；以及使用从第一光谱去除所确定的区间的信息所得到的第二光谱，来计算样品的光学特性。
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公开(公告)号：CN111486794B
公开(公告)日：2024-02-13
申请号：CN202010074101.9
申请日：2020-01-22
Applicant: 大塚电子株式会社
Abstract: 本发明提供一种光学测定系统和光学测定方法，提供一种针对在以往的光学测定装置中测定精度可能降低的样品也能够更高精度地测定光学特性的结构。光学测定系统包括：光源，其发出用于向样品照射的测定光；分光检测器，其接收由测定光在样品处产生的反射光或透射光；以及处理装置，其被输入分光检测器的检测结果。处理装置构成为能够执行以下处理：基于分光检测器的检测结果，来计算第一光谱；在第一光谱中确定与波长有关的振幅的变化满足规定条件的区间；以及使用从第一光谱去除所确定的区间的信息所得到的第二光谱，来计算样品的光学特性。
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公开(公告)号：CN108204788A
公开(公告)日：2018-06-26
申请号：CN201711363844.2
申请日：2017-12-18
Applicant: 大塚电子株式会社
CPC classification number: G01B11/0625 , G01J3/0248 , G01J3/0278 , G01J3/28 , G01J3/2803 , G01N21/255 , G01N21/8422 , G01N2021/6417 , G01B11/06 , G01M11/00
Abstract: 本发明使基于来自样本的光的样本的光学特性的测定容易进行。光学特性测定装置(1、1A)具备光学系统(12)、检测部(13)以及解析部(14)。光学系统对从样本(2)射入的检测光进行聚光。检测部对在样本与光学系统之间的光学距离相互不同的状态下经由光学系统射入的样本的检测光进行多次分光，生成表示各检测光的光谱的多个检测数据(D1)。解析部解析检测数据所示的光谱，测定样本的规定的光学特性。解析部基于多个检测数据中的检测光的大小，确定用于光学特性的测定的检测数据，基于所确定的检测数据，测定光学特性(S6、S6A)。
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公开(公告)号：CN106990052A
公开(公告)日：2017-07-28
申请号：CN201611160666.9
申请日：2016-12-15
Applicant: 大塚电子株式会社
CPC classification number: G02B21/244 , G01J3/0208 , G01J3/0237 , G02B21/06 , G02B21/361 , G01N21/27 , G01N21/01 , G01N2021/0106
Abstract: 提供一种能够实现小型化且提高了通用性的光学特性测定装置以及光学系统。光学特性测定装置包含：第一光学元件，其将来自被测定物的测定光变换为平行光；反射型透镜，其通过反射来自第一光学元件的平行光来将该平行光变换为会聚光；受光部，其接收来自反射型透镜的会聚光；以及驱动机构，其使第一光学元件相对于被测定物的相对位置变化。
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