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公开(公告)号：CN117980791A
公开(公告)日：2024-05-03
申请号：CN202280064582.2
申请日：2022-08-01
Applicant: 大塚电子株式会社
Abstract: 提供一种旋转接头(40)，包括：主体侧光纤保持部(25)，在第一圆形区域配置受光光纤的各一端面，在其外侧的第一圆环区域配置投光光纤的各一端面；探头侧光纤保持部(33)，在第二圆形区域配置受光光纤的各一端面，在其外侧的第二圆环区域配置投光光纤；旋转支承部(41)，将主体侧光纤保持部(25)和探头侧光纤保持部(33)支承为能相对旋转；以及光分离筒(42)，设于主体侧光纤保持部(25)与探头侧光纤保持部(33)之间。
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公开(公告)号：CN112710393A
公开(公告)日：2021-04-27
申请号：CN202011149855.2
申请日：2020-10-23
Applicant: 大塚电子株式会社
IPC: G01J3/28
Abstract: 本发明通过一种光学测定装置、波长校正方法以及标准试样。光学测定装置包括以下单元：理论干涉谱获取单元，其获取基于标准试样的已知的厚度、折射率以及消光系数进行数学计算得出的、关于该标准试样的反射率干涉谱或透过率干涉谱来作为理论干涉谱；实测干涉谱获取单元，其获取利用受光器经由衍射光栅接收对标准试样照射测定光而产生的反射光或透过光所生成的反射率干涉谱或透过率干涉谱来作为实测干涉谱；关联信息获取单元，其获取用于决定理论干涉谱与实测干涉谱的关于波长的关联的关联信息；以及波长校正单元，其参照关联信息将用于规定多个受光元件的波长值的波长校正式决定为使对实测干涉谱应用波长校正式所得到的结果与理论干涉谱一致。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN110500963A
公开(公告)日：2019-11-26
申请号：CN201910414005.1
申请日：2019-05-17
Applicant: 大塚电子株式会社
IPC: G01B11/06
Abstract: 本公开涉及一种光学测定装置以及光学测定方法，其要解决的问题在于，在对试样中的一方的表面照射光的光学测定装置中，测定探头与试样之间的距离和试样的膜厚。本公开的厚度测定装置包括：探头，包括具有参照面的透射光学构件，经由所述参照面将光照射至试样，接受来自所述参照面的第一反射光、来自所述试样的表面的第二反射光以及来自所述试样的背面的第三反射光；以及运算部，使用由所述第一反射光和所述第二反射光产生的第一反射干渉光，计算出从所述参照面到所述试样的表面的第一距离，使用由所述第二反射光和所述第三反射光产生的第二反射干渉光，计算出所述试样的厚度。
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公开(公告)号：CN115112026A
公开(公告)日：2022-09-27
申请号：CN202210288673.6
申请日：2022-03-22
Applicant: 大塚电子株式会社
Abstract: 本发明提供一种光学测定系统、光学测定方法以及记录介质。光学测定系统包括：光源；分光检测器；基准试样，其构成为相对于温度变化维持特性；切换机构，其将光学路径在第一光学路径与第二光学路径之间进行切换，所述第一光学路径用于向试样照射光并将在试样产生的光引导至分光检测器，所述第二光学路径用于向基准试样照射光并将在基准试样产生的光引导至分光检测器；以及计算部，其基于在第一时刻通过向基准试样照射光而输出的第一检测结果与在第二时刻通过向基准试样照射光而输出的第二检测结果的变化来执行校正处理，由此根据在与第二时刻在时间上接近的第三时刻通过向试样照射光而输出的第三检测结果来计算试样的测定值。
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公开(公告)号：CN116097070A
公开(公告)日：2023-05-09
申请号：CN202180053824.3
申请日：2021-08-30
Applicant: 大塚电子株式会社
IPC: G01J3/02
Abstract: 提供一种测定试样的分光反射率的光学测定系统。光学测定系统包括：光源，其产生测定光；受光部，其接收通过将测定光照射于试样而产生的光来作为观测光；探针，其与光源及受光部以光学方式连接，所述探针能够配置于任意位置；以及运算处理部，其基于受光部的检测结果来测定试样的分光反射率，计算基于测定出的分光反射率的测定结果。探针包括：主体部，其供用户把持；以及挠性部，其能够以使测定光能够相对于试样垂直入射的方式弯曲。
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公开(公告)号：CN110500963B
公开(公告)日：2022-02-11
申请号：CN201910414005.1
申请日：2019-05-17
Applicant: 大塚电子株式会社
IPC: G01B11/06
Abstract: 本公开涉及一种光学测定装置以及光学测定方法，其要解决的问题在于，在对试样中的一方的表面照射光的光学测定装置中，测定探头与试样之间的距离和试样的膜厚。本公开的厚度测定装置包括：探头，包括具有参照面的透射光学构件，经由所述参照面将光照射至试样，接受来自所述参照面的第一反射光、来自所述试样的表面的第二反射光以及来自所述试样的背面的第三反射光；以及运算部，使用由所述第一反射光和所述第二反射光产生的第一反射干渉光，计算出从所述参照面到所述试样的表面的第一距离，使用由所述第二反射光和所述第三反射光产生的第二反射干渉光，计算出所述试样的厚度。
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