公开(公告)号：CN105824041A

公开(公告)日：2016-08-03

申请号：CN201610059086.4

申请日：2016-01-28

Applicant: 延世大学校产学协力团

Inventor： 尹日求 ,  李相明

IPC: G01T1/29 ,  G01T1/00

CPC classification number: G01J3/443 ,  G01J3/0208 ,  G01J3/0216 ,  G01J3/0218 ,  G01J3/0235 ,  H01J37/32935 ,  H01J37/32972 ,  G01T1/29 ,  G01T1/00

Abstract: 本发明涉及光学分光分析装置，提供一种光学分光分析装置，包括：光收集部，其收集发生等离子体并处理基板的等离子体工艺腔内的光；光传递部，其传递收集的光；及分析部，其分析通过光传递部提供的光，分析等离子体状态；光收集部对在等离子体工艺腔的内部发生的光进行聚光并提供给光传递部。

公开(公告)号：CN105824041B

公开(公告)日：2019-01-29

申请号：CN201610059086.4

申请日：2016-01-28

Applicant: 延世大学校产学协力团

Inventor： 尹日求 ,  李相明

IPC: G01T1/29 ,  G01T1/00

Abstract: 本发明涉及光学分光分析装置，提供一种光学分光分析装置，包括：光收集部，其收集发生等离子体并处理基板的等离子体工艺腔内的光；光传递部，其传递收集的光；及分析部，其分析通过光传递部提供的光，分析等离子体状态；光收集部对在等离子体工艺腔的内部发生的光进行聚光并提供给光传递部。