公开(公告)号：CN101088031A

公开(公告)日：2007-12-12

申请号：CN200580044832.2

申请日：2005-12-23

Applicant: 弗劳恩霍弗实用研究促进协会

Inventor： N·比诺特 ,  T·费格尔 ,  N·凯瑟 ,  S·尤林

IPC: G02B5/08 ,  G02B1/10 ,  G21K1/06

CPC classification number: G02B5/0833 ,  B82Y10/00 ,  G02B5/0891 ,  G21K1/062 ,  G21K2201/067

Abstract: 本发明涉及一种用于反射EUV射线的多层的反射镜(1)，包括多个交替的钼层(4)及硅层(3)，在这些钼层(4)与硅层(3)之间的多个边界面上分别设置一个阻挡层(5)，该阻挡层包括一种硅氮化合物或硅硼化合物。通过由硅氮化合物或硅硼化合物构成的阻挡层(5)实现了高的热稳定性，尤其是实现了在温度大于300℃时的长时间的高稳定性，同时，该多层的反射镜的反射率高。这种多层的反射镜(1)可尤其是用作一个EUV辐射源的可加热的集光镜。