公开(公告)号：CN104321700A

公开(公告)日：2015-01-28

申请号：CN201380013521.4

申请日：2013-02-07

Applicant: 得克萨斯大学体系董事会

Inventor： C·G·威尔森 ,  W·J·杜兰德 ,  C·J·埃利森 ,  C·M·贝茨 ,  濑下武宏 ,  J·卡申 ,  L·J·桑托斯 ,  L·迪安 ,  E·L·劳施

IPC: G03F7/00 ,  B81C1/00

CPC classification number: C09D153/00 ,  B29C43/32 ,  B81C1/00031 ,  B81C2201/0149 ,  B82Y10/00 ,  B82Y40/00 ,  C03C17/30 ,  C03C17/3405 ,  C03C2218/152 ,  C23C16/44 ,  G03F7/0002 ,  Y10S977/788 ,  Y10S977/809 ,  Y10S977/811 ,  Y10S977/839 ,  Y10S977/888 ,  Y10S977/89 ,  Y10S977/891 ,  Y10T428/24802 ,  Y10T428/31504 ,  Y10T428/31663 ,  Y10T428/31931

Abstract: 本发明使用真空沉积的材料薄膜，形成与下面的嵌段共聚物薄膜的不同域无优先相互作用的界面。无优先界面防止形成湿润层并影响嵌段共聚物内的域取向。沉积的聚合物的目的是在嵌段共聚物薄膜内产生可充当平版印刷图案的纳米结构特征。

公开(公告)号：CN104321700B

公开(公告)日：2018-07-03

申请号：CN201380013521.4

申请日：2013-02-07

Applicant: 得克萨斯大学体系董事会

Inventor： C·G·威尔森 ,  W·J·杜兰德 ,  C·J·埃利森 ,  C·M·贝茨 ,  濑下武宏 ,  J·卡申 ,  L·J·桑托斯 ,  L·迪安 ,  E·L·劳施

IPC: G03F7/00 ,  B81C1/00

CPC classification number: C09D153/00 ,  B29C43/32 ,  B81C1/00031 ,  B81C2201/0149 ,  B82Y10/00 ,  B82Y40/00 ,  C03C17/30 ,  C03C17/3405 ,  C03C2218/152 ,  C23C16/44 ,  G03F7/0002 ,  Y10S977/788 ,  Y10S977/809 ,  Y10S977/811 ,  Y10S977/839 ,  Y10S977/888 ,  Y10S977/89 ,  Y10S977/891 ,  Y10T428/24802 ,  Y10T428/31504 ,  Y10T428/31663 ,  Y10T428/31931

Abstract: 本发明使用真空沉积的材料薄膜，形成与下面的嵌段共聚物薄膜的不同域无优先相互作用的界面。无优先界面防止形成湿润层并影响嵌段共聚物内的域取向。沉积的聚合物的目的是在嵌段共聚物薄膜内产生可充当平版印刷图案的纳米结构特征。