-
公开(公告)号:CN104321700A
公开(公告)日:2015-01-28
申请号:CN201380013521.4
申请日:2013-02-07
Applicant: 得克萨斯大学体系董事会
CPC classification number: C09D153/00 , B29C43/32 , B81C1/00031 , B81C2201/0149 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , C03C17/30 , C03C17/3405 , C03C2218/152 , C23C16/44 , G03F7/0002 , Y10S977/788 , Y10S977/809 , Y10S977/811 , Y10S977/839 , Y10S977/888 , Y10S977/89 , Y10S977/891 , Y10T428/24802 , Y10T428/31504 , Y10T428/31663 , Y10T428/31931
Abstract: 本发明使用真空沉积的材料薄膜,形成与下面的嵌段共聚物薄膜的不同域无优先相互作用的界面。无优先界面防止形成湿润层并影响嵌段共聚物内的域取向。沉积的聚合物的目的是在嵌段共聚物薄膜内产生可充当平版印刷图案的纳米结构特征。
-
公开(公告)号:CN104321700B
公开(公告)日:2018-07-03
申请号:CN201380013521.4
申请日:2013-02-07
Applicant: 得克萨斯大学体系董事会
CPC classification number: C09D153/00 , B29C43/32 , B81C1/00031 , B81C2201/0149 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , C03C17/30 , C03C17/3405 , C03C2218/152 , C23C16/44 , G03F7/0002 , Y10S977/788 , Y10S977/809 , Y10S977/811 , Y10S977/839 , Y10S977/888 , Y10S977/89 , Y10S977/891 , Y10T428/24802 , Y10T428/31504 , Y10T428/31663 , Y10T428/31931
Abstract: 本发明使用真空沉积的材料薄膜,形成与下面的嵌段共聚物薄膜的不同域无优先相互作用的界面。无优先界面防止形成湿润层并影响嵌段共聚物内的域取向。沉积的聚合物的目的是在嵌段共聚物薄膜内产生可充当平版印刷图案的纳米结构特征。
-
公开(公告)号:CN104592539B
公开(公告)日:2019-01-11
申请号:CN201410409101.4
申请日:2014-06-19
Applicant: 得克萨斯大学体系董事会
Abstract: 使用自组装嵌段共聚物结构制备先进的平版印刷图案取决于控制这些结构在薄膜中的取向。特别地,垂直于嵌段共聚物膜平面的圆柱体和片状的取向在大多数应用中是需要的。实现取向的优选方法是通过加热。本发明包括使用极性转换(polarity‑switching)面涂层通过加热来控制嵌段共聚物薄膜取向。面涂层可以从极性铸膜溶剂旋涂在嵌段共聚物薄膜上,并且其在热退火时改变组成而变成“中性的”。面涂层能够有助于嵌段共聚物的取向控制,除此之外仅通过加热该取向控制是不可能的。
-
公开(公告)号:CN104592539A
公开(公告)日:2015-05-06
申请号:CN201410409101.4
申请日:2014-06-19
Applicant: 得克萨斯大学体系董事会
Abstract: 使用自组装嵌段共聚物结构制备先进的平版印刷图案取决于控制这些结构在薄膜中的取向。特别地,垂直于嵌段共聚物膜平面的圆柱体和片状的取向在大多数应用中是需要的。实现取向的优选方法是通过加热。本发明包括使用极性转换(polarity-switching)面涂层通过加热来控制嵌段共聚物薄膜取向。面涂层可以从极性铸膜溶剂旋涂在嵌段共聚物薄膜上,并且其在热退火时改变组成而变成“中性的”。面涂层能够有助于嵌段共聚物的取向控制,除此之外仅通过加热该取向控制是不可能的。
-
-
-