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公开(公告)号:CN110945634A
公开(公告)日:2020-03-31
申请号:CN201880048265.5
申请日:2018-07-13
Applicant: 日立化成株式会社
IPC: H01L21/52 , C09J7/00 , C09J11/04 , C09J11/06 , C09J133/00 , C09J163/00 , C09J201/00 , H01L21/301 , H01L23/36
Abstract: 本发明涉及散热性芯片接合膜,其是热导率为2W/(m·K)以上的散热性芯片接合膜,其含有莫氏硬度不同的2种以上的热导性填充物,切割工序中的刀片摩耗量为50μm/m以下;或者其含有莫氏硬度不同的2种以上的热导性填充物,热导性填充物的含量为20~85质量%。
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