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公开(公告)号:CN106663638B
公开(公告)日:2020-04-07
申请号:CN201580046120.8
申请日:2015-11-16
Applicant: 日立化成株式会社
Abstract: 本发明公开了一种制造半导体装置的方法,所述半导体装置具备具有将电路部件密封的挠性树脂层的电路基板。该方法可具备:通过在密封材料中浸渍挠性基板并将其干燥而用密封材料密封电路部件的工序;和通过使密封材料固化而形成挠性树脂层的工序。
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公开(公告)号:CN103380491A
公开(公告)日:2013-10-30
申请号:CN201280007691.7
申请日:2012-02-02
Applicant: 日立化成株式会社
IPC: H01L21/52 , C09J5/00 , C09J201/00 , H01L23/02 , H01L27/14
CPC classification number: C09J5/00 , C09J7/35 , C09J2201/28 , C09J2201/61 , C09J2479/086 , H01L21/6835 , H01L2924/10253 , Y10T428/24802
Abstract: 本发明的粘接物的制造方法,其是第一被粘物与第二被粘物借助粘接剂图案被贴合的粘接物的制造方法,该制造方法包括:在第一被粘物上设置粘接剂层的工序;在粘接剂层的同与第一被粘物接触的面相反的一侧的面上设置保护粘接剂层的规定部分免受蚀刻影响的保护层,并在该状态下,通过对粘接剂层进行蚀刻而形成粘接剂图案的工序;以及使第二被粘物贴合于除去保护层后的粘接剂图案的工序。
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公开(公告)号:CN110945634A
公开(公告)日:2020-03-31
申请号:CN201880048265.5
申请日:2018-07-13
Applicant: 日立化成株式会社
IPC: H01L21/52 , C09J7/00 , C09J11/04 , C09J11/06 , C09J133/00 , C09J163/00 , C09J201/00 , H01L21/301 , H01L23/36
Abstract: 本发明涉及散热性芯片接合膜,其是热导率为2W/(m·K)以上的散热性芯片接合膜,其含有莫氏硬度不同的2种以上的热导性填充物,切割工序中的刀片摩耗量为50μm/m以下;或者其含有莫氏硬度不同的2种以上的热导性填充物,热导性填充物的含量为20~85质量%。
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公开(公告)号:CN103257527B
公开(公告)日:2016-08-31
申请号:CN201310088478.X
申请日:2009-07-30
Applicant: 日立化成株式会社
CPC classification number: C08G73/1042 , C08G73/1046 , C08G73/106 , C08G73/1082 , C08L63/00 , C08L79/08 , C08L2666/02 , C08L2666/22 , C09J7/20 , C09J7/22 , C09J7/38 , C09J9/00 , C09J163/00 , C09J179/08 , C09J2203/326 , C09J2205/31 , C09J2433/00 , C09J2463/00 , C09J2479/00 , C09J2479/08 , G03F7/0387 , G03F7/0388 , H01L24/27 , H01L24/29 , H01L24/48 , H01L24/73 , H01L24/83 , H01L25/0657 , H01L2224/05554 , H01L2224/274 , H01L2224/29 , H01L2224/29101 , H01L2224/2919 , H01L2224/29298 , H01L2224/32145 , H01L2224/32225 , H01L2224/48091 , H01L2224/48227 , H01L2224/73265 , H01L2224/83101 , H01L2224/83191 , H01L2224/83855 , H01L2224/92247 , H01L2924/00013 , H01L2924/00014 , H01L2924/01004 , H01L2924/01005 , H01L2924/01006 , H01L2924/01012 , H01L2924/01013 , H01L2924/01015 , H01L2924/01019 , H01L2924/0102 , H01L2924/01023 , H01L2924/01027 , H01L2924/01029 , H01L2924/01033 , H01L2924/0104 , H01L2924/01044 , H01L2924/01046 , H01L2924/01047 , H01L2924/0105 , H01L2924/01051 , H01L2924/01057 , H01L2924/01075 , H01L2924/01077 , H01L2924/01078 , H01L2924/01079 , H01L2924/01082 , H01L2924/01084 , H01L2924/014 , H01L2924/04953 , H01L2924/0665 , H01L2924/07802 , H01L2924/09701 , H01L2924/10253 , H01L2924/12041 , H01L2924/15311 , H01L2924/15788 , H01L2924/16235 , H01L2924/181 , H01L2924/351 , Y10T428/24479 , Y10T428/2809 , Y10T428/31504 , H01L2924/07025 , H01L2924/0635 , H01L2924/00 , H01L2924/00012 , H01L2924/3512 , H01L2224/29099 , H01L2224/29199 , H01L2224/29299 , H01L2224/2929 , H01L2224/45099 , H01L2224/45015 , H01L2924/207
Abstract: 本发明涉及一种感光性粘接剂组合物,其含有(A)热塑性树脂、(B)热固性树脂、(C)放射线聚合性化合物和(D)光引发剂,所述(C)放射线聚合性化合物包含具有乙烯性不饱和基团和环氧基的化合物。
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公开(公告)号:CN108699402A
公开(公告)日:2018-10-23
申请号:CN201780012916.0
申请日:2017-01-25
Applicant: 日立化成株式会社
IPC: C09J7/10 , C09J7/20 , C09J11/04 , C09J11/06 , C09J11/08 , C09J133/00 , C09J133/14 , C09J163/00 , C09J163/10 , H01L21/301 , H01L21/52
CPC classification number: C09J7/00 , C09J7/20 , C09J11/04 , C09J11/06 , C09J11/08 , C09J133/00 , C09J133/14 , C09J163/00 , C09J163/10 , H01L21/52
Abstract: 一种粘接膜,其含有:(a)丙烯酸类树脂、(b)环氧树脂、(c)固化剂和(d)α‑氧化铝填料,其中,所述(d)α‑氧化铝填料含有纯度为99.90质量%以上的多面体的α‑氧化铝填料,所述(d)α‑氧化铝填料的含量是相对于(a)丙烯酸类树脂、(b)环氧树脂、(c)固化剂和(d)α‑氧化铝填料的总量100质量份为60~95质量份。
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公开(公告)号:CN106663638A
公开(公告)日:2017-05-10
申请号:CN201580046120.8
申请日:2015-11-16
Applicant: 日立化成株式会社
Abstract: 本发明公开了一种制造半导体装置的方法,所述半导体装置具备具有将电路部件密封的挠性树脂层的电路基板。该方法可具备:通过在密封材料中浸渍挠性基板并将其干燥而用密封材料密封电路部件的工序;和通过使密封材料固化而形成挠性树脂层的工序。
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公开(公告)号:CN101884104B
公开(公告)日:2014-05-28
申请号:CN200880119113.6
申请日:2008-12-02
Applicant: 日立化成株式会社
IPC: H01L25/065 , C09J4/00 , C09J179/08 , H01L21/52 , H01L25/07 , H01L25/18
CPC classification number: C09J4/00 , C08G65/3322 , C08G65/33306 , C08G2650/50 , C08L71/02 , C08L79/08 , C08L2666/20 , C08L2666/22 , C09J171/02 , C09J179/08 , H01L21/6836 , H01L23/3121 , H01L24/27 , H01L24/29 , H01L24/48 , H01L24/73 , H01L24/83 , H01L24/85 , H01L2221/68327 , H01L2224/05554 , H01L2224/274 , H01L2224/2919 , H01L2224/32145 , H01L2224/32225 , H01L2224/48091 , H01L2224/48227 , H01L2224/73265 , H01L2224/83191 , H01L2224/83855 , H01L2224/85 , H01L2224/92247 , H01L2924/00014 , H01L2924/01004 , H01L2924/01005 , H01L2924/01006 , H01L2924/01012 , H01L2924/01015 , H01L2924/01019 , H01L2924/01023 , H01L2924/01027 , H01L2924/01029 , H01L2924/0103 , H01L2924/01033 , H01L2924/01047 , H01L2924/01075 , H01L2924/01078 , H01L2924/01079 , H01L2924/014 , H01L2924/04953 , H01L2924/0665 , H01L2924/07802 , H01L2924/181 , H01L2924/351 , H01L2924/00 , H01L2924/00012 , H01L2224/45015 , H01L2924/207 , H01L2224/45099
Abstract: 本发明的感光性粘接剂,其是通过曝光及显影来形成图案后对于被粘接物具有粘接性、可以碱显影的感光性粘接剂,用于具有以下工序的半导体装置100的制造方法,所述工序是:通过曝光及显影将设置于半导体芯片20的电路面上的感光性粘接剂1形成图案的工序,和将其他的半导体芯片21与形成图案后的所述感光性粘接剂1直接粘接的工序。
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公开(公告)号:CN102290334B
公开(公告)日:2015-03-11
申请号:CN201110153300.X
申请日:2006-06-30
Applicant: 日立化成株式会社
IPC: H01L21/20 , H01L21/762 , H01L27/146
CPC classification number: H01L23/488 , C09J179/08 , G03F7/037 , H01L21/2007 , H01L21/76251 , H01L21/78 , H01L27/14618 , H01L27/14683 , H01L2224/48091 , Y10T156/1002 , Y10T428/24479 , Y10T428/24802 , H01L2924/00014
Abstract: 本发明涉及一种半导体装置的制造方法。该半导体装置的制造方法,其包括:粘接剂层形成工序:通过把粘接薄膜贴附在半导体晶圆上,在所述半导体晶圆上形成粘接剂层;粘接剂图案形成工序:通过对该粘接剂层进行曝光和显影处理,形成粘接剂图案;粘接工序:隔着所述粘接剂图案将被粘接物粘接在所述半导体晶圆上。该半导体装置的制造方法可以用在较低温度下进行半导体装置的制造。
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公开(公告)号:CN102131882B
公开(公告)日:2013-10-30
申请号:CN200980132606.8
申请日:2009-08-26
Applicant: 日立化成株式会社
IPC: C09J201/00 , C09J4/02 , C09J7/00 , C09J7/02 , C09J163/00 , C09J179/08 , C09J201/06 , H01L21/52
CPC classification number: C09J4/00 , C08G73/1042 , C08G73/1046 , C08G73/106 , C08G73/1082 , C08L63/00 , C08L79/08 , C08L2666/02 , C08L2666/20 , C08L2666/22 , C09J4/06 , C09J163/00 , C09J179/08 , G03F7/038 , G03F7/70383 , H01L21/6836 , H01L24/27 , H01L24/29 , H01L24/48 , H01L24/73 , H01L24/83 , H01L25/50 , H01L2224/16 , H01L2224/274 , H01L2224/2919 , H01L2224/32145 , H01L2224/32225 , H01L2224/48091 , H01L2224/48227 , H01L2224/73265 , H01L2224/83191 , H01L2224/83192 , H01L2224/83194 , H01L2224/83856 , H01L2224/92247 , H01L2225/06513 , H01L2924/00014 , H01L2924/01004 , H01L2924/01005 , H01L2924/01006 , H01L2924/01012 , H01L2924/01013 , H01L2924/01019 , H01L2924/0102 , H01L2924/01023 , H01L2924/01029 , H01L2924/01033 , H01L2924/0104 , H01L2924/01044 , H01L2924/01046 , H01L2924/01047 , H01L2924/0105 , H01L2924/01051 , H01L2924/01075 , H01L2924/01078 , H01L2924/01079 , H01L2924/01082 , H01L2924/014 , H01L2924/0665 , H01L2924/10253 , H01L2924/12041 , H01L2924/15788 , H01L2924/181 , H01L2924/351 , Y10T428/24355 , Y10T428/287 , Y10T428/31518 , H01L2924/00 , H01L2924/3512 , H01L2924/00012 , H01L2224/45099 , H01L2224/45015 , H01L2924/207
Abstract: 本发明涉及可以通过在被粘接物上形成粘接剂层并利用放射线施加曝光处理及利用显影液施加显影处理而形成粘接剂图案的感光性粘接剂组合物,上述感光性粘接剂组合物具有溶解显影性,并且显影后形成的上述粘接剂图案的膜厚T1(μm)满足下述式(1)所示的条件。(T1/T0)×100≥90...(1)[式(1)中,T0表示显影处理前的粘接剂层的膜厚(μm)。]
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