公开(公告)号：CN103262220A

公开(公告)日：2013-08-21

申请号：CN201180060362.4

申请日：2011-12-16

Applicant: 日立造船株式会社

Inventor： 卡维·巴赫塔里

IPC: H01L21/306

CPC classification number: B01J19/085 ,  C01B13/10 ,  H01J3/02 ,  H01J33/00 ,  H01J37/3233 ,  H01J37/32357 ,  H01J37/32816

Abstract: 本发明除了其它方面之外提出了用于提供臭氧发生器或等离子体发生器的系统和方法，所述臭氧发生器或等离子体发生器在与反应腔室分隔开的电子发生腔室中产生电场。所述电子发生腔室中的电子束发射器被配置用来发出电子束，且被电子可渗透的阻挡件与所述反应腔室分隔开，所述阻挡件提供了所述电子束穿过的窗口。电子在所述电子发生腔室中被加速到所需的能量并穿过所述阻挡件而被传输至所述反应腔室，输入气体源将输入气体引入至所述反应腔室中。输入气体可以在所述反应腔室内与所述电子束反应以形成含有等离子体或含有臭氧浓度的输出气体，并且该输出气体从所述反应腔室传输至晶圆处理腔室。