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公开(公告)号：CN112987496A
公开(公告)日：2021-06-18
申请号：CN202011462119.2
申请日：2020-12-11
Applicant: 旭化成株式会社
Abstract: 感光性树脂组合物、使用感光性树脂组合物的转印薄膜。提供使通过光刻法形成的物体、图案的成品率提高的干膜抗蚀剂或包含其的图案形成方法，层压性、最小显影时间、分辨率、侧蚀量、Cu缺损和显影残渣的至少一者优异的感光性树脂层叠体。提供干膜抗蚀剂，包含支撑薄膜和支撑薄膜上的感光性树脂组合物层，感光性树脂组合物包含(A)碱溶性树脂、(B)包含烯属不饱和键的光聚合性化合物、(C)光聚合引发剂和(D)染料，特定的穿刺试验的最大点载荷为70gf以上；作为B成分，包含三官能以上的多官能单体和二官能单体；和/或将感光性树脂组合物的不挥发成分的酸值记作A且将感光性树脂组合物层的厚度记作T，酸值A与厚度T之比为5～90。
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公开(公告)号：CN112987496B
公开(公告)日：2024-06-14
申请号：CN202011462119.2
申请日：2020-12-11
Applicant: 旭化成株式会社
Abstract: 感光性树脂组合物、使用感光性树脂组合物的转印薄膜。提供使通过光刻法形成的物体、图案的成品率提高的干膜抗蚀剂或包含其的图案形成方法，层压性、最小显影时间、分辨率、侧蚀量、Cu缺损和显影残渣的至少一者优异的感光性树脂层叠体。提供干膜抗蚀剂，包含支撑薄膜和支撑薄膜上的感光性树脂组合物层，感光性树脂组合物包含(A)碱溶性树脂、(B)包含烯属不饱和键的光聚合性化合物、(C)光聚合引发剂和(D)染料，特定的穿刺试验的最大点载荷为70gf以上；作为B成分，包含三官能以上的多官能单体和二官能单体；和/或将感光性树脂组合物的不挥发成分的酸值记作A且将感光性树脂组合物层的厚度记作T，酸值A与厚度T之比为5～90。
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公开(公告)号：CN115903380A
公开(公告)日：2023-04-04
申请号：CN202211156119.9
申请日：2022-09-22
Applicant: 旭化成株式会社
Abstract: 本发明的目的在于，提供能够兼顾低粘性和高分辨率的感光性树脂层叠体、以及使用该感光性树脂层叠的卷、抗蚀图案和结构体。提供一种感光性树脂层叠体，其特征在于，其包含支撑体、感光性树脂层和覆盖薄膜，上述感光性树脂层和上述覆盖薄膜相接触，上述覆盖薄膜为低密度聚乙烯，且上述感光性树脂层含有：(A)碱溶性树脂、(B)具有烯属不饱和键的光聚合性化合物、(C)光聚合引发剂、和(D)两末端改性有机硅化合物，所述两末端改性有机硅化合物通过甲醇改性、酚改性或硅醇改性中的任意者进行了改性。
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