感光性树脂组合物、使用了感光性树脂组合物的转印薄膜

    公开(公告)号:CN112987496A

    公开(公告)日:2021-06-18

    申请号:CN202011462119.2

    申请日:2020-12-11

    Abstract: 感光性树脂组合物、使用感光性树脂组合物的转印薄膜。提供使通过光刻法形成的物体、图案的成品率提高的干膜抗蚀剂或包含其的图案形成方法,层压性、最小显影时间、分辨率、侧蚀量、Cu缺损和显影残渣的至少一者优异的感光性树脂层叠体。提供干膜抗蚀剂,包含支撑薄膜和支撑薄膜上的感光性树脂组合物层,感光性树脂组合物包含(A)碱溶性树脂、(B)包含烯属不饱和键的光聚合性化合物、(C)光聚合引发剂和(D)染料,特定的穿刺试验的最大点载荷为70gf以上;作为B成分,包含三官能以上的多官能单体和二官能单体;和/或将感光性树脂组合物的不挥发成分的酸值记作A且将感光性树脂组合物层的厚度记作T,酸值A与厚度T之比为5~90。

    感光性树脂组合物、使用了感光性树脂组合物的转印薄膜

    公开(公告)号:CN112987496B

    公开(公告)日:2024-06-14

    申请号:CN202011462119.2

    申请日:2020-12-11

    Abstract: 感光性树脂组合物、使用感光性树脂组合物的转印薄膜。提供使通过光刻法形成的物体、图案的成品率提高的干膜抗蚀剂或包含其的图案形成方法,层压性、最小显影时间、分辨率、侧蚀量、Cu缺损和显影残渣的至少一者优异的感光性树脂层叠体。提供干膜抗蚀剂,包含支撑薄膜和支撑薄膜上的感光性树脂组合物层,感光性树脂组合物包含(A)碱溶性树脂、(B)包含烯属不饱和键的光聚合性化合物、(C)光聚合引发剂和(D)染料,特定的穿刺试验的最大点载荷为70gf以上;作为B成分,包含三官能以上的多官能单体和二官能单体;和/或将感光性树脂组合物的不挥发成分的酸值记作A且将感光性树脂组合物层的厚度记作T,酸值A与厚度T之比为5~90。

    多层柔性线路板
    7.
    发明授权

    公开(公告)号:CN105636366B

    公开(公告)日:2019-02-19

    申请号:CN201510958651.6

    申请日:2013-01-18

    Abstract: 本发明涉及一种树脂组合物、层积体、多层印刷线路板和多层柔性线路板及其制造方法。该树脂组合物含有(A)具有酸性官能团的聚酰亚胺和(B)具有与酸性官能团反应的官能团的化合物,其中,(a)在将热历史前其在45℃的3质量%氢氧化钠水溶液中的溶解速度设为1时,在90℃、10分钟的热历史后在45℃的3质量%氢氧化钠水溶液中的溶解速度为0.95以上;(b)在180℃、60分钟的热历史后在45℃的3质量%氢氧化钠水溶液中的溶解速度为0.001μm/秒以上0.02μm/秒以下;(c)在180℃、60分钟的热历史后于40℃保持2周后的渗出量为50mg/m2以下;并且,(d)通过热重分析(TG)由40℃起以10℃/分钟的升温条件所测定的260℃的热失重为2.0%以下。

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