公开(公告)号：CN102428046A

公开(公告)日：2012-04-25

申请号：CN201080021581.7

申请日：2010-05-11

Applicant: 旭硝子株式会社

Inventor： 小池章夫 ,  三森乔宏 ,  岩桥康臣 ,  小川朝敬

IPC: C03B32/00 ,  C03B20/00 ,  C03B25/00 ,  C03C3/06 ,  C03C3/076 ,  G03F1/22 ,  H01L21/027

CPC classification number: C03B25/00 ,  B82Y10/00 ,  B82Y40/00 ,  C03B19/1453 ,  C03B2201/12 ,  C03B2201/23 ,  C03B2201/42 ,  G03F1/24 ,  Y02P40/57 ,  Y10T428/24355

Abstract: 本发明涉及一种TiO2-SiO2玻璃体的制造方法，其包含如下工序：在将透明玻璃化后的TiO2-SiO2玻璃体的退火点设为T1(℃)时，以T1+400℃以上的温度将透明玻璃化后的玻璃体加热20小时以上的工序；和以10℃/小时以下的平均降温速度将该加热工序后的玻璃体从T1(℃)冷却至T1-400(℃)的工序。

公开(公告)号：CN102421713A

公开(公告)日：2012-04-18

申请号：CN201080021096.X

申请日：2010-05-11

Applicant: 旭硝子株式会社

Inventor： 小池章夫 ,  三森乔宏 ,  岩桥康臣 ,  小川朝敬

IPC: C03B25/00 ,  C03B27/012 ,  C03B32/00 ,  C03C3/06 ,  C03C3/076 ,  G03F1/22

CPC classification number: C03B19/1453 ,  B82Y10/00 ,  B82Y40/00 ,  C03B32/00 ,  C03B2201/42 ,  C03C3/06 ,  C03C4/0085 ,  C03C2201/42 ,  C03C2203/52 ,  G03F1/24

Abstract: 本发明提供一种TiO2-SiO2玻璃体的制造方法，其包含如下工序：在将透明玻璃化后的TiO2-SiO2玻璃体的退火点设为T1(℃)时，将透明玻璃化后的玻璃体在从T1-90(℃)至T1-220(℃)的温度范围内保持120小时以上。