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公开(公告)号：CN101317262A
公开(公告)日：2008-12-03
申请号：CN200680044182.6
申请日：2006-11-24
Applicant: 松下电工株式会社
Abstract: 提供了一种具有稳定传感器特性的紧凑型传感器装置及其制造方法。该传感器装置由传感器基板和接合到传感器基板的两个表面的一对封装基板形成。传感器基板具有带开口的框架、保持在开口中可相对于框架移动的移动部分、和用于根据移动部分的位移输出电信号的探测部分。通过使用惰性气体的原子束、离子束或等离子体在传感器基板的框架和封装基板上形成表面激活区域。通过在室温时在传感器基板的表面激活区域与每个封装基板之间形成直接接合，可避免由在接合部分的残余应力导致的问题。
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公开(公告)号：CN1275043C
公开(公告)日：2006-09-13
申请号：CN03148775.0
申请日：2003-06-25
Applicant: 松下电工株式会社
CPC classification number: G01P15/0802 , G01P15/123 , G01P15/18 , G01P2015/084 , G01P2015/0842
Abstract: 提供一种半导体加速度传感器，能防止在加速度传感器中使用金属层布线时感应的不希望的热应力产生的加速度检测精度下降的能力。这个传感器包括框架、平衡块、由半导体材料制成的至少一对横梁、以及形成在所述横梁的每个上的至少一个电阻器元件，所述平衡块经过横梁被支撑在所述框架中，由此，根据所述电阻器元件的压电效应检测加速度。该传感器还包括形成在每个所述横梁的顶表面中的掺杂半导体层，并作为用于与所述电阻器元件电连接的布线。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN1480733A
公开(公告)日：2004-03-10
申请号：CN03148775.0
申请日：2003-06-25
Applicant: 松下电工株式会社
CPC classification number: G01P15/0802 , G01P15/123 , G01P15/18 , G01P2015/084 , G01P2015/0842
Abstract: 提供一种半导体加速度传感器，能防止在加速度传感器中使用金属层布线时感应的不希望的热应力产生的加速度检测精度下降的能力。这个传感器包括框架、平衡块、由半导体材料制成的至少一对横梁、以及形成在所述横梁的每个上的至少一个电阻器元件，所述平衡块经过横梁被支撑在所述框架中，由此，根据所述电阻器元件的压电效应检测加速度。该传感器还包括形成在每个所述横梁的顶表面中的掺杂半导体层，并作为用于与所述电阻器元件电连接的布线。
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公开(公告)号：CN101317263A
公开(公告)日：2008-12-03
申请号：CN200680044187.9
申请日：2006-11-24
Applicant: 松下电工株式会社
CPC classification number: G01P15/0802 , B81B7/0051 , B81B7/0064 , B81B2201/025 , B81C2203/038 , G01C19/5719 , G01P1/023 , G01P15/125 , H01L2924/0002 , H01L2924/00
Abstract: 本发明提供一种具有小的传感器波动特性和优良抗电噪声特性的传感器装置。该传感器装置具有传感器单元，该传感器单元包括具有开口的框架、保持在开口中相对于框架可移动的可移动部和用于输出基于可移动部的位置移动的电信号的检测部。该传感器装置还具有封装基板，该基板由半导体材料形成并结合于该传感器单元的表面上。该封装基板在面对传感器单元的表面上具有电绝缘膜，并且该电绝缘膜的活化表面在室温下直接结合于传感器单元的活化表面上。因此，该封装基板结合于传感器单元上。
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公开(公告)号：CN1576852A
公开(公告)日：2005-02-09
申请号：CN200410061836.9
申请日：2004-06-25
Applicant: 松下电工株式会社
IPC: G01P15/12
CPC classification number: G01P15/18 , G01P15/0802 , G01P15/123 , G01P2015/0842
Abstract: 一种半导体加速度传感器包括：框架2，其内具有开口21；挠性横梁3，从框架2延伸到框架2的开口内；重物5，悬挂于横梁3并由横梁3支撑以使重物5可自由移动；压电电阻器4，安装在横梁3上并响应其上产生的加速度而改变电阻值。框架2包括风挡部分6，每个风挡部分6覆盖开口21的一部分，该部分包括从开口21侧面上框架2的两邻接侧面的拐角部分22到开口21内的范围，并且每个风挡部分6用作制动器以限制重物5的移动。重物5具有分别面向拐角部分22的拐角部分53，每个拐角部分53的角被去掉以具有从俯视方向看的弧形或由至少三条边构成的折线形。由此，增加每个制动器的断裂强度，并因此获得具有优良抗冲击性的半导体加速度传感器。
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公开(公告)号：CN101317263B
公开(公告)日：2012-03-21
申请号：CN200680044187.9
申请日：2006-11-24
Applicant: 松下电工株式会社
IPC: H01L23/02 , G01C19/5769
CPC classification number: G01P15/0802 , B81B7/0051 , B81B7/0064 , B81B2201/025 , B81C2203/038 , G01C19/5719 , G01P1/023 , G01P15/125 , H01L2924/0002 , H01L2924/00
Abstract: 本发明提供一种具有小的传感器波动特性和优良抗电噪声特性的传感器装置。该传感器装置具有传感器单元，该传感器单元包括具有开口的框架、保持在开口中相对于框架可移动的可移动部和用于输出基于可移动部的位置移动的电信号的检测部。该传感器装置还具有封装基板，该基板由半导体材料形成并结合于该传感器单元的表面上。该封装基板在面对传感器单元的表面上具有电绝缘膜，并且该电绝缘膜的活化表面在室温下直接结合于传感器单元的活化表面上。因此，该封装基板结合于传感器单元上。
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公开(公告)号：CN1303427C
公开(公告)日：2007-03-07
申请号：CN200410061836.9
申请日：2004-06-25
Applicant: 松下电工株式会社
IPC: G01P15/12
CPC classification number: G01P15/18 , G01P15/0802 , G01P15/123 , G01P2015/0842
Abstract: 一种半导体加速度传感器包括：框架2，其内具有开口21；挠性横梁3，从框架2延伸到框架2的开口内；重物5，悬挂于横梁3并由横梁3支撑以使重物5可自由移动；压电电阻器4，安装在横梁3上并响应其上产生的加速度而改变电阻值。框架2包括风挡部分6，每个风挡部分6覆盖开口21的一部分，该部分包括从开口21侧面上框架2的两邻接侧面的拐角部分22到开口21内的范围，并且每个风挡部分6用作制动器以限制重物5的移动。重物5具有分别面向拐角部分22的拐角部分53，每个拐角部分53的角被去掉以具有从俯视方向看的弧形或由至少三条边构成的折线形。由此，增加每个制动器的断裂强度，并因此获得具有优良抗冲击性的半导体加速度传感器。
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