公开(公告)号：CN108292580A

公开(公告)日：2018-07-17

申请号：CN201680070516.0

申请日：2016-11-29

Applicant: 松定精度株式会社

Inventor： 熊本和哉 ,  松田定好

IPC: H01J37/244 ,  H01J37/10 ,  H01J37/22 ,  H01J37/28

Abstract: 本发明提供一种荷电粒子线装置，具有：荷电粒子源，射出荷电粒子线(12)；加速电源，加速从所述荷电粒子源射出的荷电粒子线(12)，并连接于所述荷电粒子源；物镜透镜(26)，将所述荷电粒子线(12)聚焦于试料(23)；及第二检测器(11)。第二物镜透镜(26)为设置于相对试料(23)入射荷电粒子线(12)的侧的相反侧。第二检测器(110)，其为使伴随着所述荷电粒子线(12)入射而从所述试料(23)射出的电磁波以及在所述试料(23)反射的电磁波中至少其中之一入射。第二检测器(110)并检测入射的电磁波。

公开(公告)号：CN109585245A

公开(公告)日：2019-04-05

申请号：CN201811187800.3

申请日：2015-12-03

Applicant: 松定精度株式会社

Inventor： 熊本和哉 ,  松田定好

IPC: H01J37/141 ,  H01J37/20 ,  H01J37/21 ,  H01J37/244 ,  H01J37/28

Abstract: 本申请提供一种荷电粒子线装置具备：荷电粒子源；加速电源，设置来加速从所述荷电粒子源射出的荷电粒子线，并连接于所述荷电粒子源；及物镜透镜26，将所述荷电粒子线聚焦于试料。物镜透镜相对于试料，设置于所述荷电粒子线的入射侧的相反侧；且形成所述物镜透镜的磁极具有：中心磁极，其中心轴与所述荷电粒子线的理想光轴一致；上部磁极；筒形的侧面磁极；及圆盘形状的下部磁极；其中，靠近于所述中心磁极的试料侧的上部中，所述上部附近的径为较小的形状，所述中心磁极的下部为圆柱形状；所述上部磁极为中心形成圆形的开口部的磁极，且为于朝向中心的盘状的靠近所述中心磁极的中心侧较薄的圆盘形状。

公开(公告)号：CN107430971B

公开(公告)日：2018-11-09

申请号：CN201580074860.2

申请日：2015-12-03

Applicant: 松定精度株式会社

Inventor： 熊本和哉 ,  松田定好

IPC: H01J37/141 ,  H01J37/20 ,  H01J37/28

Abstract: [课题]期望提升荷电粒子线装置的性能。[解决手段]一种荷电粒子线装置具备：荷电粒子源11；加速电源14，设置来加速从该荷电粒子源11射出的荷电粒子线12，并连接于该荷电粒子源11；及物镜透镜26，将该荷电粒子线12聚焦于试料23。物镜透镜26相对于试料23，设置于该荷电粒子线12的入射侧的相反侧；且形成该物镜透镜26的磁极具有：中心磁极26a，其中心轴与该荷电粒子线12的理想光轴一致；上部磁极26b；筒形的侧面磁极26c；及圆盘形状的下部磁极26d；其中，靠近于该中心磁极26a的试料23侧的上部中，该上部附近的径为较小的形状，该中心磁极26a的下部为圆柱形状；该上部磁极26b为中心形成圆形的开口部的磁极，且为于朝向中心的盘状的靠近该中心磁极的中心侧较薄的圆盘形状。

公开(公告)号：CN109585245B

公开(公告)日：2021-03-23

申请号：CN201811187800.3

申请日：2015-12-03

Applicant: 松定精度株式会社

Inventor： 熊本和哉 ,  松田定好

IPC: H01J37/141 ,  H01J37/20 ,  H01J37/21 ,  H01J37/244 ,  H01J37/28

Abstract: 本申请提供一种荷电粒子线装置具备：荷电粒子源；加速电源，设置来加速从所述荷电粒子源射出的荷电粒子线，并连接于所述荷电粒子源；及物镜透镜26，将所述荷电粒子线聚焦于试料。物镜透镜相对于试料，设置于所述荷电粒子线的入射侧的相反侧；且形成所述物镜透镜的磁极具有：中心磁极，其中心轴与所述荷电粒子线的理想光轴一致；上部磁极；筒形的侧面磁极；及圆盘形状的下部磁极；其中，靠近于所述中心磁极的试料侧的上部中，所述上部附近的径为较小的形状，所述中心磁极的下部为圆柱形状；所述上部磁极为中心形成圆形的开口部的磁极，且为于朝向中心的盘状的靠近所述中心磁极的中心侧较薄的圆盘形状。

公开(公告)号：CN108292580B

公开(公告)日：2019-06-11

申请号：CN201680070516.0

申请日：2016-11-29

Applicant: 松定精度株式会社

Inventor： 熊本和哉 ,  松田定好

IPC: H01J37/244 ,  H01J37/10 ,  H01J37/22 ,  H01J37/28

Abstract: 本发明提供一种荷电粒子线装置，具有：荷电粒子源，射出荷电粒子线(12)；加速电源，加速从所述荷电粒子源射出的荷电粒子线(12)，并连接于所述荷电粒子源；物镜透镜(26)，将所述荷电粒子线(12)聚焦于试料(23)；及第二检测器(11)。第二物镜透镜(26)为设置于相对试料(23)入射荷电粒子线(12)的侧的相反侧。第二检测器(110)，其为使伴随着所述荷电粒子线(12)入射而从所述试料(23)射出的电磁波以及在所述试料(23)反射的电磁波中至少其中之一入射。第二检测器(110)并检测入射的电磁波。

公开(公告)号：CN107430971A

公开(公告)日：2017-12-01

申请号：CN201580074860.2

申请日：2015-12-03

Applicant: 松定精度株式会社

Inventor： 熊本和哉 ,  松田定好

IPC: H01J37/141 ,  H01J37/20 ,  H01J37/28

CPC classification number: H01J37/21 ,  H01J37/141 ,  H01J37/20 ,  H01J37/244 ,  H01J37/28

Abstract: 期望提升荷电粒子线装置的性能。一种荷电粒子线装置具备：荷电粒子源11；加速电源14，设置来加速从该荷电粒子源11射出的荷电粒子线12，并连接于该荷电粒子源11；及物镜透镜26，将该荷电粒子线12聚焦于试料23。物镜透镜26相对于试料23，设置于该荷电粒子线12的入射侧的相反侧；且形成该物镜透镜26的磁极具有：中心磁极26a，其中心轴与该荷电粒子线12的理想光轴一致；上部磁极26b；筒形的侧面磁极26c；及圆盘形状的下部磁极26d；其中，靠近于该中心磁极26a的试料23侧的上部中，该上部附近的径为较小的形状，该中心磁极26a的下部为圆柱形状；该上部磁极26b为中心形成圆形的开口部的磁极，且为于朝向中心的盘状的靠近该中心磁极的中心侧较薄的圆盘形状。