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公开(公告)号:CN109475995B
公开(公告)日:2021-11-05
申请号:CN201780043156.X
申请日:2017-07-10
Applicant: 株式会社则武
IPC: B24B37/24 , H01L21/304 , B24D3/32 , B24D3/00 , B24D11/00
Abstract: 提供一种研磨体及其制造方法,所述研磨体是被用于CMP法的研磨加工的研磨体(LHA衬块),能够实现稳定的研磨性能且能够均匀地研磨被研磨体。研磨体(10)具备母材树脂(12)和多个研磨粒子(14),并具有多个纵长气孔(18)且被形成为圆板状,母材树脂(12)具备与纵长气孔(18)连通且互相连通的连通气孔(16),连通气孔(16)在连通气孔(16)内具备至少1个以上的研磨粒子(14),连通气孔(16)的平均孔径为研磨粒子(14)的平均粒径的18倍以下。因此,在研磨加工时,研磨体(10)通过在连通气孔(16)内稳定地包含研磨粒子(14)且具有纵长气孔(18),从而能够实现稳定的研磨性能,且能够均匀地研磨被研磨体。