公开(公告)号：CN101627302B

公开(公告)日：2013-10-09

申请号：CN200880006881.0

申请日：2008-04-02

Applicant: 株式会社堀场STEC

Inventor： 青木润次 ,  北浦宏和 ,  布姆赛力克·赛义德

IPC: G01N27/62

CPC classification number: H01J49/0009 ,  G01L21/30 ,  H01J41/02 ,  H01J41/10 ,  H01J49/0027

Abstract: 本发明的气体分析器包含：离子化部(211)，用以离子化试样气体；第1离子检测部(212)及第2离子检测部(213)，夹着所述离子化部(211)而设置，并且离开所述离子化部(211)起算的距离相互不同，以检测来自所述离子化部(211)的离子；过滤器部(214)，设在所述离子化部(211)及所述第1离子检测部(212)之间，选择性地使来自所述离子化部(211)的离子通过；运算装置(3)，利用通过所述第1离子检测部(212)所得的试样气体的第1全压TP1及通过所述第2离子检测部(213)所得的试样气体的第2全压TP2，修正通过所述第1离子检测部(212)所得的由所述过滤器部(214)所选择的特定成分的分压PP1；且在利用四极质谱分析法等的气体分析器中，可维持分辨率，并即使在测定值无法追随周围气体压力变化的区域也可进行修正。

公开(公告)号：CN101627302A

公开(公告)日：2010-01-13

申请号：CN200880006881.0

申请日：2008-04-02

Applicant: 株式会社堀场STEC

Inventor： 青木润次 ,  北浦宏和 ,  布姆赛力克·赛义德

IPC: G01N27/62

CPC classification number: H01J49/0009 ,  G01L21/30 ,  H01J41/02 ,  H01J41/10 ,  H01J49/0027

Abstract: 本发明的气体分析器包含：离子化部(211)，用以离子化试样气体；第1离子检测部(212)及第2离子检测部(213)，夹着所述离子化部(211)而设置，并且离开所述离子化部(211)起算的距离相互不同，以检测来自所述离子化部(211)的离子；过滤器部(214)，设在所述离子化部(211)及所述第1离子检测部(212)之间，选择性地使来自所述离子化部(211)的离子通过；运算装置(3)，利用通过所述第1离子检测部(212)所得的试样气体的第1全压TP 1 及通过所述第2离子检测部(213)所得的试样气体的第2全压TP 2 ，修正通过所述第1离子检测部(212)所得的由所述过滤器部(214)所选择的特定成分的分压PP 1 ；且在利用四极质谱分析法等的气体分析器中，可维持分辨率，并即使在测定值无法追随周围气体压力变化的区域也可进行修正。