公开(公告)号：JP5087079B2

公开(公告)日：2012-11-28

申请号：JP2009510815

申请日：2008-04-02

Applicant: 株式会社堀場エステック

Inventor： 潤次 青木 ,  宏和 北浦 ,  ブームセレク サイード

IPC: G01N27/62

CPC classification number: H01J49/0009 ,  G01L21/30 ,  H01J41/02 ,  H01J41/10 ,  H01J49/0027

公开(公告)号：JP4095362B2

公开(公告)日：2008-06-04

申请号：JP2002204750

申请日：2002-07-12

Applicant: 株式会社堀場エステック

Inventor： 正規 井上 ,  宏和 北浦 ,  泰昌 岩田

IPC: G01F1/68

公开(公告)号：JPWO2008129929A1

公开(公告)日：2010-07-22

申请号：JP2009510815

申请日：2008-04-02

Applicant: 株式会社堀場エステック

Inventor： 潤次 青木 ,  潤次 青木 ,  北浦　宏和 ,  宏和 北浦 ,  ブームセレク サイード ,  ブームセレク サイード

IPC: G01N27/62

CPC classification number: H01J49/0009 ,  G01L21/30 ,  H01J41/02 ,  H01J41/10 ,  H01J49/0027

Abstract: 試料ガスをイオン化するイオン化部211と、前記イオン化部211からの距離が互いに異なるように、前記イオン化部211を挟んで設けられ、前記イオン化部211からのイオンを検出する第1イオン検出部212及び第2イオン検出部213と、前記イオン化部211及び前記第1イオン検出部212の間に設けられ、前記イオン化部211からのイオンを選択的に通過させるフィルタ部214と、前記第1イオン検出部212により得られる試料ガスの第1の全圧TP1、及び前記第2イオン検出部213により得られる試料ガスの第2の全圧TP2を用いて、前記第1イオン検出部212により得られる前記フィルタ極部214により選択された特定成分の分圧PP1を補正する演算装置3と、を備え、四重極質量分析法等を用いたガス分析計において、分解能を維持しながら、測定値が雰囲気圧力の変化に追従しなくなった領域においても補正可能にする。