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公开(公告)号：CN101203354A
公开(公告)日：2008-06-18
申请号：CN200680022041.4
申请日：2006-06-19
Applicant: 株式会社安川电机
IPC: B23Q1/48 , G12B5/00 , H01L21/027 , H01L21/68
CPC classification number: H01L21/682 , G03F7/70716 , G03F7/70758
Abstract: 本发明提供一种在可对工作台进行Yθ的微小定位的同时，可进行搬运用途的长行程移动的平移旋转二自由度载物台装置。具体为，可实现平移Y方向移动和旋转θ的平移旋转二自由度载物台装置，其具备至少2组(6a、6b)通过由具有平移自由度的2个平移自由度部、具有旋转自由度的1个旋转自由度部及电动机构成的一轴驱动平移旋转机构及电动机控制装置构成的一轴驱动平移旋转机构；及具有1个旋转自由度和1个平移自由度的第2机构部(16)。
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公开(公告)号：CN100552586C
公开(公告)日：2009-10-21
申请号：CN200680033426.0
申请日：2006-08-25
Applicant: 株式会社安川电机
CPC classification number: G05B19/4015 , G05B2219/50042
Abstract: 提供了一种旋转台板的校准装置，其通过平移驱动能够在XYθ、Yθ、或θ精确地操作台板。用于驱动安装有目标物(5)的台板(4)的4件驱动系统包括平移自由度部分(11)、平移驱动部分(12)、以及旋转自由度部分(13)，此外，通过在机械固定装置(41)处提供电机(1)和检测装置(2)，由机械固定装置(41)使用第一定位装置及第二定位装置、和第一位置固定装置及第二位置固定装置精确地固定台板(4)，并且将检测装置参考位置存储在检测装置参考位置存储装置(44)处，使校准装置能够返回到原点。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN1432210A
公开(公告)日：2003-07-23
申请号：CN01810237.9
申请日：2001-04-19
Applicant: 株式会社安川电机
IPC: H02P5/00
CPC classification number: H02P23/14 , G05B2219/34048 , G05B2219/37434 , G05B2219/41122 , H02P29/50
Abstract: 本发明提供一种电动机控制装置，其通过传动机构来控制电动机以驱动机器的移动件。当扭转命令作为运动命令信号(9)发送到伺服装置(3)时，伺服装置(3)将与运动命令信号(9)一致的输入扭转信号(12)传送到电动机(5)并激励电动机(5)。由此驱动移动件(7)并使其产生振动。伺服装置(3)输出与输入扭转信号(12)相等的输入扭转信号(11)，并将输入扭转信号(11)和旋转速度信号(10)储存在存储装置(2)。分析装置(1)利用FFT分析输入扭转信号(11)和旋转速度信号(10)的频率，并输出分析结果(14)。
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公开(公告)号：CN101878589B
公开(公告)日：2013-05-01
申请号：CN200880117958.1
申请日：2008-11-10
Applicant: 株式会社安川电机
IPC: H02P29/00
Abstract: 本发明可以在观察电动机或机械要素上生成的物理量的同时，评价物理量，适当地选定、订购电动机控制装置与机械要素。具体为，在电动机控制装置的选定装置及订购装置中，电动机控制装置具备选定运算部(10)、输入部(11)、输出部(12)、机构条件输入部(13)、指令设定部(14)、监控部(15)、评价部(16)，对根据运转模式与机构条件将登录于特征数据库的电动机控制装置与登录于机构条件特征数据库的机械部件作为机械系统而组成的构成进行评价、选定，订购装置通过网络订购选定的电动机控制装置或机械部件。
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公开(公告)号：CN101878589A
公开(公告)日：2010-11-03
申请号：CN200880117958.1
申请日：2008-11-10
Applicant: 株式会社安川电机
IPC: H02P29/00
Abstract: 本发明可以在观察电动机或机械要素上生成的物理量的同时，评价物理量，适当地选定、订购电动机控制装置与机械要素。具体为，在电动机控制装置的选定装置及订购装置中，电动机控制装置具备选定运算部(10)、输入部(11)、输出部(12)、机构条件输入部(13)、指令设定部(14)、监控部(15)、评价部(16)，对根据运转模式与机构条件将登录于特征数据库的电动机控制装置与登录于机构条件特征数据库的机械部件作为机械系统而组成的构成进行评价、选定，订购装置通过网络订购选定的电动机控制装置或机械部件。
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公开(公告)号：CN101263438A
公开(公告)日：2008-09-10
申请号：CN200680033426.0
申请日：2006-08-25
Applicant: 株式会社安川电机
CPC classification number: G05B19/4015 , G05B2219/50042
Abstract: 提供了一种旋转台板的校准装置，其通过平移驱动能够在XYθ、Yθ、或θ精确地操作台板。用于驱动安装有目标物(5)的台板(4)的4件驱动系统包括平移自由度部分(11)、平移驱动部分(12)、以及旋转自由度部分(13)，此外，通过在机械固定装置(41)处提供电机(1)和检测装置(2)，由机械固定装置(41)使用第一定位装置及第二定位装置、和第一位置固定装置及第二位置固定装置精确地固定台板(4)，并且将检测装置参考位置存储在检测装置参考位置存储装置(44)处，使校准装置能够返回到原点。
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公开(公告)号：CN1237697C
公开(公告)日：2006-01-18
申请号：CN01810237.9
申请日：2001-04-19
Applicant: 株式会社安川电机
IPC: H02P5/00
CPC classification number: H02P23/14 , G05B2219/34048 , G05B2219/37434 , G05B2219/41122 , H02P29/50
Abstract: 本发明公开了一种通过传动机构、带有移动件及支撑移动件的固定件的机器上的移动件来控制电动机驱动的电动机控制装置，所述装置包括：用于检测所述电动机转动速度的旋转检测器；伺服装置，其响应于运动命令信号将与运动命令信号一致的运动信号发送到所述电动机来控制电动机，其中所述运动命令信号不包括在测量频率范围之外的不需要的高频分量，从而在频率分析上不产生干扰误差；和分析装置，其用于将所述运动命令信号向所述伺服装置输出，及分析所述运动命令信号的频率和来自所述旋转检测器的转动检测信号的频率并输出作为所述转动检测信号相对于所述运动命令信号的响应的分析结果。
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