公开(公告)号：CN116805595A

公开(公告)日：2023-09-26

申请号：CN202310262382.4

申请日：2023-03-17

Applicant: 株式会社斯库林集团

Inventor： 东克栄 ,  远藤亨 ,  竹松佑介 ,  髙木圭将 ,  吉原直彦

IPC: H01L21/67 ,  H01L21/677 ,  H01L21/306

Abstract: 本发明提供一种衬底处理装置及衬底处理方法。衬底处理装置(100)具备罐(50)、包含第1路径(C1)的路径(70)、加热器(61)、过氧化氢溶液供给路径(C3)及控制部(102)。第1路径(C1)从罐(50)将硫酸供给到喷嘴(36)。加热器(61)对第1路径(C1)的加热区域(R1)进行加热。控制部(102)将经加热器(61)加热的硫酸与过氧化氢溶液混合后从喷嘴(36)喷出到衬底(W)，然后将温度比所述经加热的硫酸低的硫酸与过氧化氢溶液混合后从喷嘴(36)喷出到衬底(W)。

公开(公告)号：CN113363180A

公开(公告)日：2021-09-07

申请号：CN202110243978.0

申请日：2021-03-05

Applicant: 株式会社斯库林集团

Inventor： 山口贵大 ,  泽岛隼 ,  东克栄 ,  小林健司

IPC: H01L21/67 ,  H01L21/02

Abstract: 本发明的课题在于提高蚀刻轮廓的自由度。本发明的衬底处理方法包括如下工序：使衬底旋转；使用中央喷嘴向旋转的衬底的中央部喷出第1处理液；以及使用边缘喷嘴向旋转的衬底的边缘部喷出第2处理液，俯视时该边缘部包围着中央部；边缘喷嘴从相对于衬底的主表面倾斜的方向，顺着衬底的旋转方向喷出第2处理液，且边缘喷嘴向如下位置的衬底的边缘部喷出第2处理液，即，俯视时从连结衬底的中心和中央喷嘴的线，顺着衬底的旋转方向前进半周后的位置。