喷出压力监视装置及方法、记录介质及涂敷装置

    公开(公告)号:CN119303808A

    公开(公告)日:2025-01-14

    申请号:CN202410905735.2

    申请日:2024-07-08

    Abstract: 本发明提供一种能够对喷出压力适当检测未预先设想到的未知异常的喷出压力监视装置及方法、记录介质及涂敷装置。喷出压力测量部(911)获取压力数据。特征量计算部(913)计算压力数据的特征量。异常度计算部(915)将特征量作为输入,使用输出表示偏离正常的特征量的分布的程度的异常度的无监督学习模型(M1),对特征量计算部计算出的特征量计算异常度。异常概率计算部(917)将特征量作为输入,使用输出表示属于特定的异常(A)、(B)的概率的异常概率的监督学习模型(M2),对特征量计算部(913)计算出的特征量计算异常概率。异常判断部(919)使用异常度计算部(915)计算出的异常度和异常概率计算部计算出的异常概率判断压力数据的异常。

    泵控制参数的调整方法、计算机程序、记录介质、喷出及涂布装置

    公开(公告)号:CN117619592B

    公开(公告)日:2024-11-08

    申请号:CN202311091614.0

    申请日:2023-08-28

    Abstract: 本发明涉及泵控制参数的调整方法、计算机程序、记录介质、喷出装置以及涂布装置,将用于从泵向喷嘴送出处理液的泵控制参数进行最优化,以使能够在实际的喷出动作中得到与目标一致的特性。本发明的泵控制参数的调整方法包括:调整工序,临时设定控制参数,从泵送出处理液,获取喷出压力曲线,调整控制参数,以使所获取的喷出压力曲线接近预先设定的目标曲线;基于所调整的控制参数,执行喷出动作,获取喷出压力曲线的工序;设定工序,设定与在调整工序中获取的喷出压力曲线与在喷出动作中获取的喷出压力曲线的差分对应的偏移量;以及再调整工序,再调整控制参数,以使在所获取的喷出压力曲线加上偏移量后的曲线接近目标曲线。

    喷出压力评价方法、喷出压力评价程序、记录介质及基板处理装置

    公开(公告)号:CN116337316A

    公开(公告)日:2023-06-27

    申请号:CN202211543974.5

    申请日:2022-12-01

    Abstract: 本发明提供一种喷出压力评价方法,能够在与喷出压力的适当与否相对应的合理时间内,进行为了从喷嘴喷出处理液而对处理液施加的喷出压力的评价。设置有通过互不相同的评价项目分别评价喷出压力的从第1个到第N个的N个评价阶段。但是,在基于第I个评价阶段所涉及的评价项目的评价中判断为喷出压力适当的情况下,执行基于第(I+1)个评价阶段所涉及的评价项目的喷出压力的评价,另一方面,在基于第I个评价阶段所涉及的评价项目的评价中判断为喷出压力不适当的情况下,不执行在第I个评价阶段之后的顺序的评价阶段的喷出压力的评价(即,被省略)。

    泵控制参数的调整方法、计算机程序、记录介质、喷出及涂布装置

    公开(公告)号:CN117619592A

    公开(公告)日:2024-03-01

    申请号:CN202311091614.0

    申请日:2023-08-28

    Abstract: 本发明涉及泵控制参数的调整方法、计算机程序、记录介质、喷出装置以及涂布装置,将用于从泵向喷嘴送出处理液的泵控制参数进行最优化,以使能够在实际的喷出动作中得到与目标一致的特性。本发明的泵控制参数的调整方法包括:调整工序,临时设定控制参数,从泵送出处理液,获取喷出压力曲线,调整控制参数,以使所获取的喷出压力曲线接近预先设定的目标曲线;基于所调整的控制参数,执行喷出动作,获取喷出压力曲线的工序;设定工序,设定与在调整工序中获取的喷出压力曲线与在喷出动作中获取的喷出压力曲线的差分对应的偏移量;以及再调整工序,再调整控制参数,以使在所获取的喷出压力曲线加上偏移量后的曲线接近目标曲线。

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