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公开(公告)号:CN116568854A
公开(公告)日:2023-08-08
申请号:CN202180057905.0
申请日:2021-10-19
Applicant: 株式会社新柯隆
IPC: C23C14/24
Abstract: 提供一种运转率高的成膜装置。其具备:成膜室(2),该成膜室(2)至少设置有成膜材料M和被成膜物(S),能够设定为规定的成膜气氛;炉膛内衬(23),该炉膛内衬(23)设置于上述成膜室(2)的内部,容纳上述成膜材料M;加热源(24),该加热源(24)设置于上述成膜室(2)的内部,对容纳在上述炉膛内衬(23)的成膜材料(M)进行加热;和材料供给室(3),该材料供给室(3)具有填充用于供给至上述炉膛内衬(23)的成膜材料(M)的材料填充部(35),通过具有闸阀(37)的连通路径(36)与上述成膜室(2)连接,能够设定为规定的压力气氛。在供给成膜材料(M)的情况下,在将成膜室(2)设定为成膜气氛的状态下,将上述材料供给室(3)的内部设定为上述规定的压力气氛后,打开上述闸阀(37),通过上述连通路径(36)将填充在上述材料填充部(35)的成膜材料(M)供给至上述炉膛内衬(23)。