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公开(公告)号：CN103502801A
公开(公告)日：2014-01-08
申请号：CN201280019470.1
申请日：2012-04-16
Applicant: 株式会社日立高新技术
IPC: G01N23/225 , G01N21/956 , G06T1/00 , H01L21/66
CPC classification number: G06T7/001 , G01N21/9501 , G01N23/225 , G01N2223/421 , G01N2223/611 , G01N2223/646 , G06K9/6267 , G06T5/00 , G06T2207/10061 , G06T2207/30148 , H01L22/12 , H01L22/20 , H01L2924/0002 , H01L2924/00
Abstract: 在自动缺陷分类功能中，由于对于每个装置适当的处理参数不同，因此需要按照每个缺陷观察装置来设定分类制程程序。在相同工序中运用多个装置的情况下，需要分类制程程序内的分类类相同。在重新制作分类制程程序等时候存在对于每个装置在分类类中产生差异这种问题。缺陷分类系统具备：保存分类制程程序的(214)；信息确定部(210)，其确定分类制程程序以及所保存的图像的工序、装置信息；对应缺陷确定部(209)，其从在相同工序中从不同的图像拍摄装置得到的图像中确定相同种类的缺陷图像；图像变换部(212)，其对在相同工序中从不同的图像拍摄装置得到的图像进行变换，变换为能够比较的类似的图像；以及制程程序更新部(211)，其将确定出的相同种类的缺陷图像登记到各自对应的分类制程程序内的分类类中。
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公开(公告)号：CN103748670B
公开(公告)日：2016-08-24
申请号：CN201280040589.7
申请日：2012-07-09
Applicant: 株式会社日立高新技术
IPC: H01L21/66 , G01N23/225
CPC classification number: G01N21/9501 , G01N23/2251 , G01N2223/6116 , H01L22/12
Abstract: 本发明高效地决定需要进行高灵敏度检查、高精度测量的部分区域。区域决定装置具备：计算部，其根据包含拍摄检查试样而得到的试样上的缺陷位置、或被预测为在试样上有可能产生缺陷的缺陷位置所得的图像在内的缺陷数据的至少多种缺陷属性信息，计算缺陷的产生程度；区域决定部，其提取出产生程度为预定程度以上的缺陷数据，根据提取出的该缺陷数据决定要进行观察或检查的试样上的区域。
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公开(公告)号：CN103748670A
公开(公告)日：2014-04-23
申请号：CN201280040589.7
申请日：2012-07-09
Applicant: 株式会社日立高新技术
IPC: H01L21/66 , G01N23/225
CPC classification number: G01N21/9501 , G01N23/2251 , G01N2223/6116 , H01L22/12
Abstract: 本发明高效地决定需要进行高灵敏度检查、高精度测量的部分区域。区域决定装置具备：计算部，其根据包含拍摄检查试样而得到的试样上的缺陷位置、或被预测为在试样上有可能产生缺陷的缺陷位置所得的图像在内的缺陷数据的至少多种缺陷属性信息，计算缺陷的产生程度；区域决定部，其提取出产生程度为预定程度以上的缺陷数据，根据提取出的该缺陷数据决定要进行观察或检查的试样上的区域。
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公开(公告)号：CN104870985B
公开(公告)日：2017-06-13
申请号：CN201380066389.3
申请日：2013-11-29
Applicant: 株式会社日立高新技术
IPC: G01N23/225 , H01L21/66
CPC classification number: G06T7/001 , G01N23/2254 , G01N2223/418 , G01N2223/611 , G06K9/00 , G06K9/46 , G06K9/4661 , G06K2009/4666 , G06T2207/30148
Abstract: 在未形成图案的阶段的制造工序或在摄像图像上不显示在下层形成的图案的制造工序中，用于解析缺陷的事例增加。然而，在这样的事例中，在图像上无法识别周期性图案的情况下，存在不能合成良好的参照图像，缺陷检测失败的问题。因此，求出在被检查图像中缺陷区域所占的比例即缺陷占有率，判定该缺陷占有率与阈值的大小，根据判定结果，决定是否生成由具有被检查图像所包含的多个像素的亮度值的平均亮度值的像素构成的图像作为所述参照图像。尤其在缺陷占有率低的情况下，采用由具有被检查图像所包含的多个像素的亮度值的平均亮度值的像素构成的图像作为所述参照图像。
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公开(公告)号：CN103502801B
公开(公告)日：2015-09-16
申请号：CN201280019470.1
申请日：2012-04-16
Applicant: 株式会社日立高新技术
IPC: G01N23/225 , G01N21/956 , G06T1/00 , H01L21/66
CPC classification number: G06T7/001 , G01N21/9501 , G01N23/225 , G01N2223/421 , G01N2223/611 , G01N2223/646 , G06K9/6267 , G06T5/00 , G06T2207/10061 , G06T2207/30148 , H01L22/12 , H01L22/20 , H01L2924/0002 , H01L2924/00
Abstract: 在自动缺陷分类功能中，由于对于每个装置适当的处理参数不同，因此需要按照每个缺陷观察装置来设定分类制程程序。在相同工序中运用多个装置的情况下，需要分类制程程序内的分类类相同。在重新制作分类制程程序等时候存在对于每个装置在分类类中产生差异这种问题。缺陷分类系统具备：保存分类制程程序的(214)；信息确定部(210)，其确定分类制程程序以及所保存的图像的工序、装置信息；对应缺陷确定部(209)，其从在相同工序中从不同的图像拍摄装置得到的图像中确定相同种类的缺陷图像；图像变换部(212)，其对在相同工序中从不同的图像拍摄装置得到的图像进行变换，变换为能够比较的类似的图像；以及制程程序更新部(211)，其将确定出的相同种类的缺陷图像登记到各自对应的分类制程程序内的分类类中。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN104903712B
公开(公告)日：2018-01-02
申请号：CN201380069668.5
申请日：2013-12-06
Applicant: 株式会社日立高新技术
IPC: G01N23/225 , G01N21/956
CPC classification number: G06T7/001 , G01N21/9501 , G06T2207/10004 , G06T2207/10061 , G06T2207/30148
Abstract: 本发明的目的在于，能够从观察对象样本中容易地提取能够标记为“缺陷”和“妨扰”(错误检测出制造公差等的部位)的缺陷候选，容易地调整与观察处理有关的参数。本发明的缺陷观察方法包括：根据来自检查装置的缺陷信息拍摄被检查对象物，得到缺陷图像和与该缺陷图像对应的参照图像的摄像步骤；使用根据在上述摄像步骤中拍摄所得的该缺陷图像和该参照图像得到的第一特征量分布、根据该参照图像得到的第二特征量分布，决定用于缺陷提取的第一参数的参数决定步骤；使用在上述参数决定步骤中决定的该第一参数进行观察的观察步骤。本发明能够应用于观察在半导体晶圆的制造中产生的缺陷的方法。
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公开(公告)号：CN104870985A
公开(公告)日：2015-08-26
申请号：CN201380066389.3
申请日：2013-11-29
Applicant: 株式会社日立高新技术
IPC: G01N23/225 , H01L21/66
CPC classification number: G06T7/001 , G01N23/2254 , G01N2223/418 , G01N2223/611 , G06K9/00 , G06K9/46 , G06K9/4661 , G06K2009/4666 , G06T2207/30148
Abstract: 在未形成图案的阶段的制造工序或在摄像图像上不显示在下层形成的图案的制造工序中，用于解析缺陷的事例增加。然而，在这样的事例中，在图像上无法识别周期性图案的情况下，存在不能合成良好的参照图像，缺陷检测失败的问题。因此，求出在被检查图像中缺陷区域所占的比例即缺陷占有率，判定该缺陷占有率与阈值的大小，根据判定结果，决定是否生成由具有被检查图像所包含的多个像素的亮度值的平均亮度值的像素构成的图像作为所述参照图像。尤其在缺陷占有率低的情况下，采用由具有被检查图像所包含的多个像素的亮度值的平均亮度值的像素构成的图像作为所述参照图像。
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公开(公告)号：CN104737280A
公开(公告)日：2015-06-24
申请号：CN201380052989.4
申请日：2013-10-11
Applicant: 株式会社日立高新技术
CPC classification number: H01J37/222 , H01J37/28 , H01J2237/24592
Abstract: 本发明是一种具备观察试样上的缺陷的缺陷观察装置的带电粒子束装置，具备：控制部、以及显示部，所述控制部在多个修正条件下针对利用所述缺陷观察装置取得的一张以上图像执行漂移修正处理，并使所述多个修正条件与执行了所述漂移修正处理的多个修正图像对应，作为第1画面显示在所述显示部中。
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公开(公告)号：CN104737280B
公开(公告)日：2018-08-07
申请号：CN201380052989.4
申请日：2013-10-11
Applicant: 株式会社日立高新技术
CPC classification number: H01J37/222 , H01J37/28 , H01J2237/24592
Abstract: 本发明是种具备观察试样上的缺陷的缺陷观察装置的带电粒子束装置,具备:控制部、以及显示部,所述控制部在多个修正条件下针对利用所述缺陷观察装置取得的张以上图像执行漂移修正处理,并使所述多个修正条件与执行了所述漂移修正处理的多个修正图像对应,作为第1画面显示在所述显示部中。
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公开(公告)号：CN104024838B
公开(公告)日：2016-04-13
申请号：CN201280064315.1
申请日：2012-11-26
Applicant: 株式会社日立高新技术
IPC: G01N23/225 , G01N21/956
CPC classification number: G06F3/04842 , G02B21/365 , G06F9/451 , G06T7/0004 , H01J37/265 , H01J2237/2817
Abstract: 本发明提供一种GUI、分类装置、分类方法、程序以及存储分类程序的存储介质。GUI具备：未赋予方框区域，其将作为类别信息未被赋予的图像的集合的文件夹分层显示；图像方框区域，其显示上述未赋予方框区域中显示的类别信息未被赋予的图像；和类别方框区域，其显示类别信息被赋予的图像；如果对于该类别信息未被赋予的图像从外部输入类别信息，则显示该输入的类别信息。
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