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公开(公告)号：CN102680507A
公开(公告)日：2012-09-19
申请号：CN201210134252.4
申请日：2007-02-08
Applicant: 株式会社日立高新技术
IPC: G01N23/225 , G03B42/00
CPC classification number: G01N23/20 , H01J37/21 , H01J37/265 , H01J37/28 , H01J2237/1532 , H01J2237/1536 , H01J2237/216 , H01J2237/2817
Abstract: 本发明涉及扫描型电子显微镜装置以及使用它的摄影方法。在使用SEM用于摄影试样的摄影方案的自动生成中，会有以下情况：(1)当需要检查的地方增多时，摄影方案的生成需要庞大的劳力和时间；(2)生成的摄影方案的正确性、以及生成时间成为问题；(3)由于制作时不能预想的现象，通过制作好的摄影方案的摄影或者处理失败。在本发明中，做成：(1)从CAD数据自动计算用于进行观察的摄影点的个数、坐标、尺寸·形状、摄影顺序、摄影位置变更方法、摄影条件、摄影顺序的一部分或者全部。(2)能够任意设定为生成摄影方案的输入信息、输出信息的组合。(3)伴随对于任意的摄影点中的摄影或者处理的成功与否判定，在判定为失败的场合进行变更摄影点或者摄影顺序来使摄影或者处理成功的救援处理。
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公开(公告)号：CN101025402B
公开(公告)日：2012-07-04
申请号：CN200710007073.3
申请日：2007-02-08
Applicant: 株式会社日立高新技术
IPC: G01N23/225 , G03B42/00
CPC classification number: G01N23/20 , H01J37/21 , H01J37/265 , H01J37/28 , H01J2237/1532 , H01J2237/1536 , H01J2237/216 , H01J2237/2817
Abstract: 在使用SEM用于摄影试样的摄影方案的自动生成中，会有以下情况：(1)当需要检查的地方增多时，摄影方案的生成需要庞大的劳力和时间；(2)生成的摄影方案的正确性、以及生成时间成为问题；(3)由于制作时不能预想的现象，通过制作好的摄影方案的摄影或者处理失败。在本发明中，做成：(1)从CAD数据自动计算用于进行观察的摄影点的个数、坐标、尺寸·形状、摄影顺序、摄影位置变更方法、摄影条件、摄影顺序的一部分或者全部。(2)能够任意设定为生成摄影方案的输入信息、输出信息的组合。(3)伴随对于任意的摄影点中的摄影或者处理的成功与否判定，在判定为失败的场合进行变更摄影点或者摄影顺序来使摄影或者处理成功的救援处理。
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公开(公告)号：CN102759540A
公开(公告)日：2012-10-31
申请号：CN201210135414.6
申请日：2007-02-08
Applicant: 株式会社日立高新技术
IPC: G01N23/225 , G03B42/00
CPC classification number: G01N23/20 , H01J37/21 , H01J37/265 , H01J37/28 , H01J2237/1532 , H01J2237/1536 , H01J2237/216 , H01J2237/2817
Abstract: 本发明为扫描型电子显微镜装置以及使用它的摄影方法，在使用SEM用于摄影试样的摄影方案的自动生成中，会有以下情况：（1）当需要检查的地方增多时，摄影方案的生成需要庞大的劳力和时间；（2）生成的摄影方案的正确性、以及生成时间成为问题；（3）由于制作时不能预想的现象，通过制作好的摄影方案的摄影或者处理失败。在本发明中，做成：（1）从CAD数据自动计算用于进行观察的摄影点的个数、坐标、尺寸·形状、摄影顺序、摄影位置变更方法、摄影条件、摄影顺序的一部分或者全部。（2）能够任意设定为生成摄影方案的输入信息、输出信息的组合。（3）伴随对于任意的摄影点中的摄影或者处理的成功与否判定，在判定为失败的场合进行变更摄影点或者摄影顺序来使摄影或者处理成功的救援处理。
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公开(公告)号：CN1971571A
公开(公告)日：2007-05-30
申请号：CN200610144417.0
申请日：2006-11-07
Applicant: 株式会社日立高新技术
CPC classification number: H01J37/28 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , G03F7/70525 , G03F7/70625 , G06T7/0006 , G06T2207/30148 , H01J37/222 , H01J37/265 , H01J37/3174 , H01J2237/216 , H01J2237/24578 , H01J2237/2487 , H01J2237/2817
Abstract: 本发明，做成为了：在使用了测长SEM的半导体图形的形状评价装置中，不需要传统上所必需的与半导体制造的各工序相配的数据变换，并统一管理保有数据，这样，就能够容易从保有数据中选择利用于各工序的有效数据，另外，即使在形成图形的形状存在时间变动的情况下，也可以根据时间序列数据进行拍摄方案的修正，能够生成可稳定计测的拍摄方案，在使用测长SEM的半导体图形的形状评价装置中，为了统一管理被存储在数据库301内的多种数据，使多种数据间的坐标系相对应并任意选择多种数据的一部分或全部，再用选择出来的数据生成测长SEM中用来观察半导体图形的拍摄方案。
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公开(公告)号：CN114342036B
公开(公告)日：2024-08-23
申请号：CN201980100022.6
申请日：2019-09-20
Applicant: 株式会社日立高新技术
IPC: H01J37/22
Abstract: 在带电粒子显微镜装置中的视野调整方法中，设定试样的参照数据，针对参照数据设定多个关心区域，针对多个关心区域的各区域设定稀疏的采样坐标组，根据采样坐标组对试样照射带电粒子而得到对应的像素值组，根据像素值组生成与多个关心区域对应的多个重构图像，根据多个重构图像推定多个关心区域的对应关系，根据对应关系调整多个关心区域。在此，采样坐标组的设定根据参照数据来进行。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102759539A
公开(公告)日：2012-10-31
申请号：CN201210135356.7
申请日：2007-02-08
Applicant: 株式会社日立高新技术
IPC: G01N23/225 , G03B42/00
CPC classification number: G01N23/20 , H01J37/21 , H01J37/265 , H01J37/28 , H01J2237/1532 , H01J2237/1536 , H01J2237/216 , H01J2237/2817
Abstract: 本发明为扫描型电子显微镜装置以及使用它的摄影方法，在使用SEM用于摄影试样的摄影方案的自动生成中，会有以下情况：（1）当需要检查的地方增多时，摄影方案的生成需要庞大的劳力和时间；（2）生成的摄影方案的正确性、以及生成时间成为问题；（3）由于制作时不能预想的现象，通过制作好的摄影方案的摄影或者处理失败。在本发明中，做成：（1）从CAD数据自动计算用于进行观察的摄影点的个数、坐标、尺寸·形状、摄影顺序、摄影位置变更方法、摄影条件、摄影顺序的一部分或者全部。（2）能够任意设定为生成摄影方案的输入信息、输出信息的组合。（3）伴随对于任意的摄影点中的摄影或者处理的成功与否判定，在判定为失败的场合进行变更摄影点或者摄影顺序来使摄影或者处理成功的救援处理。
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公开(公告)号：CN101025402A
公开(公告)日：2007-08-29
申请号：CN200710007073.3
申请日：2007-02-08
Applicant: 株式会社日立高新技术
IPC: G01N23/225 , G03B42/00
CPC classification number: G01N23/20 , H01J37/21 , H01J37/265 , H01J37/28 , H01J2237/1532 , H01J2237/1536 , H01J2237/216 , H01J2237/2817
Abstract: 在使用SEM用于摄影试样的摄影方案的自动生成中，会有以下情况：(1)当需要检查的地方增多时，摄影方案的生成需要庞大的劳力和时间；(2)生成的摄影方案的正确性、以及生成时间成为问题；(3)由于制作时不能预想的现象，通过制作好的摄影方案的摄影或者处理失败。在本发明中，做成：(1)从CAD数据自动计算用于进行观察的摄影点的个数、坐标、尺寸·形状、摄影顺序、摄影位置变更方法、摄影条件、摄影顺序的一部分或者全部。(2)能够任意设定为生成摄影方案的输入信息、输出信息的组合。(3)伴随对于任意的摄影点中的摄影或者处理的成功与否判定，在判定为失败的场合进行变更摄影点或者摄影顺序来使摄影或者处理成功的救援处理。
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公开(公告)号：CN115701114A
公开(公告)日：2023-02-07
申请号：CN202210671565.7
申请日：2022-06-14
Applicant: 株式会社日立高新技术
IPC: H04N23/53
Abstract: 本发明涉及试样观察装置、试样观察方法以及计算机系统。关于试样观察，提供能够减少实际的图像的拍摄等作业的技术。试样观察装置的处理器在学习阶段(S1)将试样的设计数据(250)存储于存储资源，制作作为多个输入图像(251)的第一学习用图像，制作作为目标图像(252)的第二学习用图像，利用第一学习用图像和第二学习用图像学习与像质的变换相关的模型(260)。处理器在试样观察阶段(S2)中，能够得到将由拍摄装置拍摄试样而得的第一拍摄图像(253)输入到模型(260)而输出的第二拍摄图像(254)作为观察用图像。处理器根据设计数据制作第一学习用图像和第二学习用图像中的至少一方。
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公开(公告)号：CN102760630B
公开(公告)日：2015-09-23
申请号：CN201210135364.1
申请日：2007-02-08
Applicant: 株式会社日立高新技术
CPC classification number: G01N23/20 , H01J37/21 , H01J37/265 , H01J37/28 , H01J2237/1532 , H01J2237/1536 , H01J2237/216 , H01J2237/2817
Abstract: 本发明为扫描型电子显微镜装置以及使用它的摄影方法，在使用SEM用于摄影试样的摄影方案的自动生成中，会有以下情况：（1）当需要检查的地方增多时，摄影方案的生成需要庞大的劳力和时间；（2）生成的摄影方案的正确性、以及生成时间成为问题；（3）由于制作时不能预想的现象，通过制作好的摄影方案的摄影或者处理失败。在本发明中，做成：（1）从CAD数据自动计算用于进行观察的摄影点的个数、坐标、尺寸·形状、摄影顺序、摄影位置变更方法、摄影条件、摄影顺序的一部分或者全部。（2）能够任意设定为生成摄影方案的输入信息、输出信息的组合。（3）伴随对于任意的摄影点中的摄影或者处理的成功与否判定，在判定为失败的场合进行变更摄影点或者摄影顺序来使摄影或者处理成功的救援处理。
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公开(公告)号：CN102760630A
公开(公告)日：2012-10-31
申请号：CN201210135364.1
申请日：2007-02-08
Applicant: 株式会社日立高新技术
CPC classification number: G01N23/20 , H01J37/21 , H01J37/265 , H01J37/28 , H01J2237/1532 , H01J2237/1536 , H01J2237/216 , H01J2237/2817
Abstract: 本发明为扫描型电子显微镜装置以及使用它的摄影方法，在使用SEM用于摄影试样的摄影方案的自动生成中，会有以下情况：（1）当需要检查的地方增多时，摄影方案的生成需要庞大的劳力和时间；（2）生成的摄影方案的正确性、以及生成时间成为问题；（3）由于制作时不能预想的现象，通过制作好的摄影方案的摄影或者处理失败。在本发明中，做成：（1）从CAD数据自动计算用于进行观察的摄影点的个数、坐标、尺寸·形状、摄影顺序、摄影位置变更方法、摄影条件、摄影顺序的一部分或者全部。（2）能够任意设定为生成摄影方案的输入信息、输出信息的组合。（3）伴随对于任意的摄影点中的摄影或者处理的成功与否判定，在判定为失败的场合进行变更摄影点或者摄影顺序来使摄影或者处理成功的救援处理。
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