公开(公告)号：CN101022075B

公开(公告)日：2010-06-09

申请号：CN200610156779.1

申请日：2006-12-27

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 立花一郎 ,  佐藤贡 ,  深田敦子 ,  铃木直正 ,  福田宗行

IPC: H01J37/28 ,  H01J37/244 ,  G01N23/225 ,  G01N13/10

CPC classification number: H01J37/28 ,  H01J37/09 ,  H01J2237/0262 ,  H01J2237/12 ,  H01J2237/24592 ,  H01J2237/2817

Abstract: 一种扫描型电子显微镜，其中，施加用于使一次电子束加速的正电压，并且在物镜的上部配置电场屏蔽板、或磁场屏蔽板、或电磁场屏蔽板。利用具有这样的构造的扫描型电子显微镜获得试样像。由此可提供具有获得试样表面的高分辨率且高对比度的凹凸像的特征的扫描型电子显微镜。

公开(公告)号：CN101022075A

公开(公告)日：2007-08-22

申请号：CN200610156779.1

申请日：2006-12-27

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 立花一郎 ,  佐藤贡 ,  深田敦子 ,  铃木直正 ,  福田宗行

IPC: H01J37/28 ,  H01J37/244 ,  G01N23/225 ,  G01N13/10

CPC classification number: H01J37/28 ,  H01J37/09 ,  H01J2237/0262 ,  H01J2237/12 ,  H01J2237/24592 ,  H01J2237/2817

Abstract: 一种扫描型电子显微镜，其中，施加用于使一次电子束加速的正电压，并且在物镜的上部配置电场屏蔽板、或磁场屏蔽板、或电磁场屏蔽板。利用具有这样的构造的扫描型电子显微镜获得试样像。由此可提供具有获得试样表面的高分辨率且高对比度的凹凸像的特征的扫描型电子显微镜。