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公开(公告)号：CN105161393B
公开(公告)日：2018-03-27
申请号：CN201510512550.6
申请日：2004-09-07
Applicant: 卡尔蔡司显微镜有限责任公司 , 应用材料以色列公司
CPC classification number: H01J37/04 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , H01J37/09 , H01J37/10 , H01J37/14 , H01J37/153 , H01J37/28 , H01J37/3007 , H01J37/3177 , H01J2237/0435 , H01J2237/0453 , H01J2237/047 , H01J2237/04735 , H01J2237/04756 , H01J2237/06 , H01J2237/14 , H01J2237/2817 , H01J2237/31774
Abstract: 本发明涉及电子光学排布结构、多电子分束检验系统和方法。该电子光学排布结构提供一次和二次电子束路径，一次束路径用于从一次电子源指向可定位在该排布结构的物面中的物体的一次电子束，二次束路径用于源自物体的二次电子，该结构包括磁体排布结构，其具有：第一磁场区，由一次和二次电子束路径穿过，用于将一次和二次电子束路径相互分开；第二磁场区，布置在第一磁场区的上游的一次电子束路径中，二次电子束路径不穿过第二磁场区，第一和第二磁场区沿基本上相反的方向使一次电子束路径偏转；第三磁场区，布置在第一磁场区的下游的二次电子束路径中，一次电子束路径不穿过第三磁场区，第一和第三磁场区沿基本上相同的方向使二次电子束路径偏转。
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公开(公告)号：CN104241066B
公开(公告)日：2017-04-12
申请号：CN201410245642.8
申请日：2014-06-05
Applicant: FEI 公司
IPC: H01J37/26
CPC classification number: H01J37/12 , H01J37/09 , H01J37/3005 , H01J2237/12 , H01J2237/20207
Abstract: 公开了一种对带电粒子设备中的样品成像的方法。本发明涉及配备有离子束柱(102)和电子束柱(101)的双束设备，电子束柱包含静电浸没透镜(116)。当倾斜样品(104)时，静电浸没场失真并且失去绕电子光轴的对称。结果倾斜引入有害影响，诸如横向色像差和束位移。另外在样品的非倾斜位置中检测二次电子或后向散射电子的柱内检测器(141)将在当倾斜样品时归因于失去浸没场对称而表现出这些电子的混合。本发明示出如何通过关于最靠近样品的接地电极对平台进行偏置来消除或至少减少这些缺点。
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公开(公告)号：CN103688333B
公开(公告)日：2016-10-19
申请号：CN201280019242.4
申请日：2012-02-17
Applicant: 应用材料以色列公司 , 卡尔蔡司SMT有限公司
CPC classification number: H01J37/21 , H01J37/06 , H01J37/09 , H01J37/153 , H01J37/22 , H01J37/222 , H01J37/244 , H01J37/261 , H01J37/28 , H01J37/29 , H01J2237/0453 , H01J2237/049 , H01J2237/063 , H01J2237/1532 , H01J2237/21 , H01J2237/2817
Abstract: 带电粒子束聚焦设备（200）包括带电粒子束发生器（202），所述带电粒子束发生器（202）被配置以同时将至少一个非像散带电粒子束和至少一个像散带电粒子束投射到样品表面的位置（217）上，从而使得释放电子从所述位置发射出。所述设备还包括成像检测器（31），所述成像检测器（31）被配置以从所述位置接收释放电子且根据释放电子形成所述位置的图像。处理器（32）分析由至少一个像散带电粒子束产生的图像，且响应于所述图像以调整至少一个非像散带电粒子束的焦点。
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公开(公告)号：CN102473575B
公开(公告)日：2016-04-27
申请号：CN201080031271.3
申请日：2010-07-15
Applicant: 艾克塞利斯科技公司
Inventor： 奈尔·卡尔文
IPC: H01J37/09 , H01J37/317 , H01J3/40 , H01J37/02
CPC classification number: H01J37/3171 , H01J3/40 , H01J37/026 , H01J37/09 , H01J2237/0041 , H01J2237/022 , H01J2237/31705
Abstract: 提供一种用于在离子植入系统中减少粒子污染的设备。该设备包括外壳(250)，该外壳具有入口(260)、出口(262)和至少一个进气口叶片侧(264)，所述至少一个进气口叶片侧具有在其内限定的多个进气口叶片(266)。离子植入系统的射束线(P)通过该入口和出口，其中所述至少一个进气口叶片侧的多个进气口叶片被配置成机械地过滤沿射束线行进的离子束的边缘。该外壳可具有两个进气口叶片侧(254A，B)和一个进气口叶片顶部(278)，其中当垂直于该射束线测量时，该外壳的入口和出口的各自的宽度大致由两个进气口叶片侧相对于彼此的位置限定。所述进气口叶片侧的一个或多个可调整地安装，其中该外壳的入口和出口中的一个或多个的宽度可控制。
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公开(公告)号：CN102299037B
公开(公告)日：2016-04-13
申请号：CN201110172913.8
申请日：2011-06-24
Applicant: FEI公司
CPC classification number: H01J37/263 , H01J37/09 , H01J2237/043 , H01J2237/223 , H01J2237/2614 , H01J2237/2802
Abstract: 在TEM的衍射平面中使用的阻挡部件。本发明涉及将被放置在TEM的衍射平面中的阻挡部件。其类似于用于单边带成像的刀边缘，但是仅阻挡在小角度内偏转的电子。结果，根据本发明的TEM的对比度传递函数将与低频下的单边带显微镜的对比度传递函数和用于高频率的正常显微镜的对比度传递函数相等。优选地，被阻挡部件阻挡的最高频率使得没有阻挡部件的显微镜将显示出0.5的CTF。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN105103264A
公开(公告)日：2015-11-25
申请号：CN201580000348.3
申请日：2015-02-27
Applicant: 株式会社爱发科
CPC classification number: H01J37/04 , H01J37/09 , H01J37/1472 , H01J37/3171 , H01J2237/0213 , H01J2237/028 , H05H1/16 , H05H7/04
Abstract: 从离子源向离子加速装置16入射并且在离子加速管24内飞行的正离子被在离子加速管24的内部配置的多个加速电极2a~2h加速而向照射对象物照射。在离子加速管24内配置有多个磁铁装置5，使各磁铁装置5分别形成的磁力线的方向在相邻的磁铁装置5中以比0度大且90度以下的角度不同，使各磁力线在离子加速管24内沿一个方向旋转。使在离子加速管24内逆行的电子与磁力线交叉，使电子一边逆行一边增加离飞行轴的距离。电子与离子加速管24内的构件冲撞，在变为高能量之前停止，因此，不产生高能量X射线。
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公开(公告)号：CN102468104B
公开(公告)日：2015-11-18
申请号：CN201110354511.X
申请日：2011-11-10
Applicant: FEI公司
Inventor： A.亨斯特拉
IPC: H01J37/05 , H01J37/153 , H01J37/09
CPC classification number: H01J37/05 , H01J37/06 , H01J37/08 , H01J37/09 , H01J37/26 , H01J37/28 , H01J2237/0453 , H01J2237/053 , H01J2237/057 , H01J2237/31713
Abstract: 本发明公开了带有集成静电能量过滤器的带电粒子源。本发明涉及带有集成能量过滤器的带电粒子过滤器。其中所用的大部分过滤器具有高度弯曲的光轴，且因此使用具有难以制造的形式的部件，根据本发明的该源使用在直光轴周围的电极。令人吃惊的是，本发明者发现，倘若电极（114,116,120,122）中的一些形成为120°/60°/120°/60°，很可能使带电粒子束106a偏转离轴线104相当远，示出在能量选择狭缝108处显著的能量扩散，而不引入不能矫正的彗差或像散。这些电极能通过胶合或钎焊陶瓷而附连到彼此，且然后可例如通过火花腐蚀而形成高度同心的孔。
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公开(公告)号：CN104658843A
公开(公告)日：2015-05-27
申请号：CN201410675978.8
申请日：2014-11-21
Applicant: 斯伊恩股份有限公司
IPC: H01J37/317 , H01J37/21 , H01J37/09
CPC classification number: H01J37/304 , H01J37/04 , H01J37/3171 , H01J2237/0455 , H01J2237/08 , H01J2237/24535 , H01J2237/304 , H01J2237/30472 , H01J2237/31701 , H01J37/09 , H01J37/21
Abstract: 本发明提供一种高能量离子注入装置、射束电流调整装置及射束电流调整方法，其课题在于例如在高能量离子注入装置中调整注入射束电流。本发明的用于离子注入装置的射束电流调整装置(300)具备配置于离子束的会聚点(P)或其附近的可变孔隙(302)。可变孔隙(302)构成为，调整会聚点(P)的与离子束的会聚方向垂直的方向的射束宽度，以控制注入射束电流。可变孔隙(302)可以配置于紧接质量分析狭缝(22b)的后方。射束电流调整装置(300)也可以设置于具有高能量多段直线加速单元(14)的高能量离子注入装置(100)。
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公开(公告)号：CN104541355A
公开(公告)日：2015-04-22
申请号：CN201380041387.9
申请日：2013-07-01
Applicant: 株式会社日立高新技术
CPC classification number: H01J37/18 , H01J37/04 , H01J37/09 , H01J37/16 , H01J37/20 , H01J37/228 , H01J37/261 , H01J37/28 , H01J2237/045 , H01J2237/164 , H01J2237/1825 , H01J2237/2602 , H01J2237/2605
Abstract: 以往的带电粒子线装置均为专用于大气压下或者与大气压大致相等的压力的气体氛围下的观察而被制造的装置，不存在能够使用通常的高真空型带电粒子显微镜而简便地进行大气压或者与大气压大致相等的压力的气体氛围下的观察的装置。并且，在以往的方法中，无法相对于载置于上述的氛围下的试样的相同的位置同时地进行基于带电粒子线与光的观察。因此，在本发明中，具备：将一次带电粒子线照射至试样的带电粒子光学镜筒、对带电粒子光学镜筒的内部进行抽真空的真空泵、配置为对载置有试样的空间与带电粒子光学镜筒进行隔离并供一次带电粒子线透射或者通过的能够装卸的隔膜、以及相对于隔膜以及试样配置于带电粒子光学镜筒的相反的一侧并在带电粒子光学镜筒的光轴的延长线上具有光轴的至少一部分的光学显微镜。
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公开(公告)号：CN104428866A
公开(公告)日：2015-03-18
申请号：CN201380036057.0
申请日：2013-05-14
Applicant: 迈普尔平版印刷IP有限公司
Inventor： A.H.V.范维恩
IPC: H01J37/09 , H01J37/30 , H01J37/317
CPC classification number: H01J37/09 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , H01J37/147 , H01J37/3007 , H01J37/302 , H01J37/3174 , H01J37/3177 , H01J2237/002 , H01J2237/026 , H01J2237/0262 , H01J2237/0264 , H01J2237/16 , H01J2237/182 , H01J2237/188
Abstract: 本发明涉及一种带电粒子光刻系统。该系统具有子射束产生器，包括射束产生器，用于产生带电粒子射束；孔径阵列(6)，用于从该带电粒子射束形成多个子射束；以及子射束投射器，用于将该子射束投射在目标的表面上。带电粒子射束产生器包含带电粒子源(3)，用于产生发散的带电粒子射束；准直器系统(5a、5b、5c)，一个或多个泵(220)，高电压屏蔽配置(201)，用于屏蔽保护该高电压屏蔽配置外面的器件，避免受到高电压屏蔽配置内的高电压影响，以及冷却配置(203，204)，用于移除热量。一个或多个泵位于高电压屏蔽配置和冷却配置之间。
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