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公开(公告)号：CN102024657A
公开(公告)日：2011-04-20
申请号：CN201010282645.0
申请日：2010-09-13
Applicant: 株式会社昭和真空
Abstract: 提供一种离子枪以及用于该离子枪的格栅。上述离子枪具备格栅更换时输出特性的可重复性、伴随温度变化的形状稳定性以及保管性良好的半管型格栅。在离子枪中，具备在内部产生等离子体的主体、用于从主体内部引出等离子体的格栅以及在与主体之间夹持格栅的框状加速电极，主体的与格栅相对的端面具有山谷状的弯曲面，格栅由平板格栅构成，在安装时与主体的接触面成为与弯曲面一致的曲面。
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公开(公告)号：CN102024657B
公开(公告)日：2015-04-01
申请号：CN201010282645.0
申请日：2010-09-13
Applicant: 株式会社昭和真空
Abstract: 提供一种离子枪以及用于该离子枪的格栅。上述离子枪具备格栅更换时输出特性的可重复性、伴随温度变化的形状稳定性以及保管性良好的半管型格栅。在离子枪中，具备在内部产生等离子体的主体、用于从主体内部引出等离子体的格栅以及在与主体之间夹持格栅的框状加速电极，主体的与格栅相对的端面具有山谷状的弯曲面，格栅由平板格栅构成，在安装时与主体的接触面成为与弯曲面一致的曲面。
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