公开(公告)号：CN104919293A

公开(公告)日：2015-09-16

申请号：CN201380063807.3

申请日：2013-12-04

Applicant: 株式会社村田制作所

Inventor： 小西隆宽

IPC: G01L9/00 ,  G01P15/12 ,  B81B3/00 ,  H01L29/84

CPC classification number: G01P15/123 ,  B81B3/0072 ,  B81B3/0086 ,  B81B2201/0235 ,  B81B2201/0264 ,  B81B2203/0109 ,  G01L9/0044 ,  G01L9/0052 ,  G01L9/0054 ,  G01P15/0802 ,  H01L29/84

Abstract: 压力传感器由Si基板(10a)、SiO2层(10b)、表面Si膜(10c)所构成的SOI基板构成。Si基板(10a)上形成有通过蚀刻而形成的开口部(13)，膜片结构的位移部(12)由该部分的表面Si膜(10c)和SiO2层(10b)构成。位移部(12)形成有压阻元件(11)。位移部(12)根据要检测的压力而弯曲，压阻元件的电阻值随之而发生变化。膜片结构的位移部(12)的厚度尺寸ts为1μm以上10μm以下，压阻元件(11)的杂质浓度的峰值位置(深度)Pd为比0.5μm要深、比位移部(12)的厚度尺寸的1/2的深度要浅的位置。

公开(公告)号：CN104797942A

公开(公告)日：2015-07-22

申请号：CN201380058809.3

申请日：2013-11-08

Applicant: 株式会社村田制作所

Inventor： 小西隆宽

IPC: G01P15/12 ,  H01L29/84

CPC classification number: G01P15/0888 ,  G01P15/123 ,  G01P15/18

Abstract: 本发明的角加速度传感器包括固定部(12)、锤部(13)、梁(14)、以及对梁(14)的应力进行检测的检测元件，该梁(14)包括：呈平板状、且延伸方向上的一个端部与固定部(12)相连、另一个端部与锤部(13)相连的平板部(21)；以向平板部(21)的厚度方向突出的方式设置在平板部(21)的宽度方向中央的中央侧凸部(22)；以及以向平板部(21)的厚度方向突出的方式分别设置在平板部(21)的宽度方向两端的端侧凸部(23A、23B、23C、23D)，该检测元件设置在平板部(21)上与平板部(21)的延伸方向的中央不同的位置。

公开(公告)号：CN102906574A

公开(公告)日：2013-01-30

申请号：CN201180024784.6

申请日：2011-06-08

Applicant: 株式会社村田制作所

Inventor： 小西隆宽 ,  吉田和广

IPC: G01P15/12 ,  H01L29/84

CPC classification number: G01P15/123 ,  G01P2015/0828 ,  H01L29/84

Abstract: 本发明提供不改变传感器的灵敏度和谐振频率而使耐冲击性提高的加速度传感器。梁部(31)其基端侧与支持部(30)相连，前端侧与重物部(34)相连。梁部(31)的截面形成为T字形状，压敏电阻(R1～R4)形成在梁部(31)的上表面。重物部(34)与梁部(31)的前端相连，并位于支持部(30)的内侧。在重物部(34)和支持部(30)之间设置有包围重物部(34)大致C字形状的槽(33)。进而，重物部(34)具有表面层(91)的梁部(31)侧的端从支持基板层(93)的梁部(31)侧的端向梁部(31)侧延伸的延伸部(36)。因此，施加冲击而作用X方向的加速度时，从梁部(31)和重物部(34)向梁部(31)侧分散最大应力。