公开(公告)号：CN105452809A

公开(公告)日：2016-03-30

申请号：CN201480031829.6

申请日：2014-06-17

Applicant: 株式会社村田制作所

Inventor： 冈见威 ,  辻信昭 ,  小野秀和

IPC: G01C19/5747

CPC classification number: G01C19/5712 ,  B81B3/0037 ,  B81B2201/0285 ,  B81B2203/0136 ,  B81B2203/019 ,  G01C19/5747 ,  H02N1/008

Abstract: 本发明的MEMS传感器用模块、特别是振动驱动模块包括：以可振动的方式被支承，并在振动方向上延伸的可动电极；与该可动电极大致平行地设置，并在所述振动方向上延伸的固定电极；在所述可动电极的与所述固定电极相对的相对壁面上沿所述振动方向排列设置的多个凸部；以及在所述固定电极的与所述可动电极相对的相对壁面上与所述可动电极的凸部相对的多个凸部。