公开(公告)号：CN109455663A

公开(公告)日：2019-03-12

申请号：CN201811522787.2

申请日：2015-06-03

Applicant: 株式会社村田制作所

Inventor： 松冈润弥 ,  辻信昭 ,  植屋夕辉 ,  冈见威 ,  沟田崇

IPC: B81B3/00

Abstract: 本发明的MEMS器件具备固定构件(1)和通过弹性体(2)可振动地受到支撑的可动构件(3)，该MEMS器件具备在该可动构件和固定构件的可碰撞部分处设置的冲击缓和机构，该冲击缓和机构具有带板状的止动部和突条部，该止动部在与碰撞方向大致垂直的方向上，被突出地设置在固定构件及可动构件的其中之一，且至少一侧边被固定，该突条部在碰撞方向上，突出地设置于固定构件及可动构件中的另一个、或者止动部的一部分，该突条部及止动部构成为可动构件和固定构件的碰撞力越大，抵接区域边缘位置越靠近止动部的固定侧边。本发明能够提供抑制粘连,并不易破损的MEMS器件。

公开(公告)号：CN109455663B

公开(公告)日：2023-12-12

申请号：CN201811522787.2

申请日：2015-06-03

Applicant: 株式会社村田制作所

Inventor： 松冈润弥 ,  辻信昭 ,  植屋夕辉 ,  冈见威 ,  沟田崇

IPC: B81B3/00

Abstract: 本发明的MEMS器件具备固定构件(1)和通过弹性体(2)可振动地受到支撑的可动构件(3)，该MEMS器件具备在该可动构件和固定构件的可碰撞部分处设置的冲击缓和机构，该冲击缓和机构具有带板状的止动部和突条部，该止动部在与碰撞方向大致垂直的方向上，被突出地设置在固定构件及可动构件的其中之一，且至少一侧边被固定，该突条部在碰撞方向上，突出地设置于固定构件及可动构件中的另一个、或者止动部的一部分，该突条部及止动部构成为可动构件和固定构件的碰撞力越大，抵接区域边缘位置越靠近止动部的固定侧边。本发明能够提供抑制粘连,并不易破损的MEMS器件。

公开(公告)号：CN106458567A

公开(公告)日：2017-02-22

申请号：CN201580029298.1

申请日：2015-06-03

Applicant: 株式会社村田制作所

Inventor： 松冈润弥 ,  辻信昭 ,  植屋夕辉 ,  冈见威 ,  沟田崇

IPC: B81B3/00 ,  G01C19/5769 ,  G01P15/02 ,  H01L29/84

CPC classification number: B81B3/0013 ,  B81B3/001 ,  B81B3/0051 ,  B81B2201/0235 ,  B81B2201/0242 ,  B81C1/00968 ,  G01C19/5769 ,  G01P15/02 ,  H01L29/84

Abstract: 本发明的MEMS器件具备固定构件(1)和通过弹性体(2)可振动地受到支撑的可动构件(3)，该MEMS器件具备在该可动构件和固定构件的可碰撞部分处设置的冲击缓和机构，该冲击缓和机构具有带板状的止动部和突条部，该止动部在与碰撞方向大致垂直的方向上，被突出地设置在固定构件及可动构件的其中之一，且至少一侧边被固定，该突条部在碰撞方向上，突出地设置于固定构件及可动构件中的另一个、或者止动部的一部分，该突条部及止动部构成为可动构件和固定构件的碰撞力越大，抵接区域边缘位置越靠近止动部的固定侧边。本发明能够提供抑制粘连,并不易破损的MEMS器件。

公开(公告)号：CN105452809A

公开(公告)日：2016-03-30

申请号：CN201480031829.6

申请日：2014-06-17

Applicant: 株式会社村田制作所

Inventor： 冈见威 ,  辻信昭 ,  小野秀和

IPC: G01C19/5747

CPC classification number: G01C19/5712 ,  B81B3/0037 ,  B81B2201/0285 ,  B81B2203/0136 ,  B81B2203/019 ,  G01C19/5747 ,  H02N1/008

Abstract: 本发明的MEMS传感器用模块、特别是振动驱动模块包括：以可振动的方式被支承，并在振动方向上延伸的可动电极；与该可动电极大致平行地设置，并在所述振动方向上延伸的固定电极；在所述可动电极的与所述固定电极相对的相对壁面上沿所述振动方向排列设置的多个凸部；以及在所述固定电极的与所述可动电极相对的相对壁面上与所述可动电极的凸部相对的多个凸部。