公开(公告)号：CN108028207B

公开(公告)日：2021-01-08

申请号：CN201780003128.5

申请日：2017-02-28

Applicant: 株式会社海上

Inventor： 吉野秀纪 ,  三浦雅明

IPC: H01L21/60 ,  H01L21/68

Abstract: 本发明提供能够高精度地对键合工作台进行定位的键合方法。本发明的一方式是使用了具有使键合工作台(1)以θ轴为中心而旋转的旋转驱动机构的键合装置的键合方法，具备：相对于所述θ轴锁定所述键合工作台，在保持于所述键合工作台的基板的一部分区域键合引线或凸点的工序(e)；将所述键合工作台相对于所述θ轴的锁定解除，利用所述旋转驱动机构使所述键合工作台以所述θ轴为中心而旋转的工序(f)；以及相对于所述θ轴锁定所述键合工作台，在所述基板的剩余的区域键合引线或凸点的工序(g)。

公开(公告)号：CN108028207A

公开(公告)日：2018-05-11

申请号：CN201780003128.5

申请日：2017-02-28

Applicant: 株式会社海上

Inventor： 吉野秀纪 ,  三浦雅明

IPC: H01L21/60 ,  H01L21/68

Abstract: 本发明提供能够高精度地对键合工作台进行定位的键合方法。本发明的一方式是使用了具有使键合工作台(1)以θ轴为中心而旋转的旋转驱动机构的键合装置的键合方法，具备：相对于所述θ轴锁定所述键合工作台，在保持于所述键合工作台的基板的一部分区域键合引线或凸点的工序(e)；将所述键合工作台相对于所述θ轴的锁定解除，利用所述旋转驱动机构使所述键合工作台以所述θ轴为中心而旋转的工序(f)；以及相对于所述θ轴锁定所述键合工作台，在所述基板的剩余的区域键合引线或凸点的工序(g)。