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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101427359A
公开(公告)日：2009-05-06
申请号：CN200780014042.9
申请日：2007-04-10
Applicant: 株式会社海上
IPC: H01L21/60
CPC classification number: H01L24/85 , B23K20/004 , B23K37/0435 , B23K2101/40 , H01L24/45 , H01L24/48 , H01L24/78 , H01L2224/45147 , H01L2224/48247 , H01L2224/78301 , H01L2224/78703 , H01L2224/78801 , H01L2224/85065 , H01L2224/85075 , H01L2924/00011 , H01L2924/01005 , H01L2924/01007 , H01L2924/01015 , H01L2924/01018 , H01L2924/01029 , H01L2924/01033 , H01L2924/01078 , H01L2924/01082 , H01L2924/15747 , Y10S228/904 , H01L2924/00 , H01L2924/00014 , H01L2924/01006
Abstract: 本发明提供即使减少氧化抑制气体的使用量，也能够充分地抑制接合区域的氧化的工件夹具及引线接合装置。本发明的工件夹具的特征在于，具备：形成氧化抑制气体的气氛的内部中空部(10)；设于所述内部中空部的下方，用于向所述内部中空部放入所述接合区域的下部开口部(11a)；设于所述内部中空部的上方，使所述接合区域露出的上部开口部(11)；覆盖所述内部中空部，且具有比所述上部开口部的开口面积广的腔室(13)；设于所述腔室，向所述腔室导入所述氧化抑制气体的气体导入口(14a)、(14b)；与所述腔室的下方连接，将从所述气体导入口导入的所述氧化抑制气体向所述工件的接合区域以外的部分喷射的孔(21)。
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公开(公告)号：CN118176570A
公开(公告)日：2024-06-11
申请号：CN202280069856.7
申请日：2022-05-24
Applicant: 株式会社海上
IPC: H01L21/60
Abstract: 本发明提供一种能够以简单的结构提高晶片等基板的凸块或引线的接合中的基板的生产性的接合装置及接合方法。接合载台(5)包含第一接合载台(6)及第二接合载台(8)，第一接合载台与第二接合载台经由θ轴而相向地配设于具有能够以θ轴(27)为中心旋转的θ轴旋转机构(26)的旋转工作台(25)，且构成为能够调换第一接合载台与第二接合载台的位置，接合装置(1)具有能够使旋转工作台沿XY方向移动的XY移动机构(35)。
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公开(公告)号：CN101427359B
公开(公告)日：2011-01-19
申请号：CN200780014042.9
申请日：2007-04-10
Applicant: 株式会社海上
IPC: H01L21/60
CPC classification number: H01L24/85 , B23K20/004 , B23K37/0435 , B23K2101/40 , H01L24/45 , H01L24/48 , H01L24/78 , H01L2224/45147 , H01L2224/48247 , H01L2224/78301 , H01L2224/78703 , H01L2224/78801 , H01L2224/85065 , H01L2224/85075 , H01L2924/00011 , H01L2924/01005 , H01L2924/01007 , H01L2924/01015 , H01L2924/01018 , H01L2924/01029 , H01L2924/01033 , H01L2924/01078 , H01L2924/01082 , H01L2924/15747 , Y10S228/904 , H01L2924/00 , H01L2924/00014 , H01L2924/01006
Abstract: 本发明提供即使减少氧化抑制气体的使用量，也能够充分地抑制接合区域的氧化的工件夹具及引线接合装置。本发明的工件夹具的特征在于，具备：形成氧化抑制气体的气氛的内部中空部(10)；设于所述内部中空部的下方，用于向所述内部中空部放入所述接合区域的下部开口部(11a)；设于所述内部中空部的上方，使所述接合区域露出的上部开口部(11)；覆盖所述内部中空部，且具有比所述上部开口部的开口面积广的腔室(13)；设于所述腔室，向所述腔室导入所述氧化抑制气体的气体导入口(14a)、(14b)；与所述腔室的下方连接，将从所述气体导入口导入的所述氧化抑制气体向所述工件的接合区域以外的部分喷射的孔(21)。
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公开(公告)号：CN108028207B
公开(公告)日：2021-01-08
申请号：CN201780003128.5
申请日：2017-02-28
Applicant: 株式会社海上
Abstract: 本发明提供能够高精度地对键合工作台进行定位的键合方法。本发明的一方式是使用了具有使键合工作台(1)以θ轴为中心而旋转的旋转驱动机构的键合装置的键合方法，具备：相对于所述θ轴锁定所述键合工作台，在保持于所述键合工作台的基板的一部分区域键合引线或凸点的工序(e)；将所述键合工作台相对于所述θ轴的锁定解除，利用所述旋转驱动机构使所述键合工作台以所述θ轴为中心而旋转的工序(f)；以及相对于所述θ轴锁定所述键合工作台，在所述基板的剩余的区域键合引线或凸点的工序(g)。
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公开(公告)号：CN108028207A
公开(公告)日：2018-05-11
申请号：CN201780003128.5
申请日：2017-02-28
Applicant: 株式会社海上
Abstract: 本发明提供能够高精度地对键合工作台进行定位的键合方法。本发明的一方式是使用了具有使键合工作台(1)以θ轴为中心而旋转的旋转驱动机构的键合装置的键合方法，具备：相对于所述θ轴锁定所述键合工作台，在保持于所述键合工作台的基板的一部分区域键合引线或凸点的工序(e)；将所述键合工作台相对于所述θ轴的锁定解除，利用所述旋转驱动机构使所述键合工作台以所述θ轴为中心而旋转的工序(f)；以及相对于所述θ轴锁定所述键合工作台，在所述基板的剩余的区域键合引线或凸点的工序(g)。
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