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公开(公告)号：CN219040417U
公开(公告)日：2023-05-16
申请号：CN202190000377.0
申请日：2021-06-28
Applicant: 株式会社海上
Abstract: 本实用新型提供一种清洗系统，其包括：输送基板的输送装置；配置在该输送装置的下方的清洗单元；控制输送装置、清洗单元的控制装置。输送装置包括沿着输送方向隔开规定间隔地配置有多排的辊。清洗单元包括：在上端具有矩形的开口部的壳体；配置在该壳体的内部的振动板；和振动子，对该振动板赋予超声波振动而对壳体内的清洗液赋予振动。以使壳体的开口部的长度方向沿着输送方向的朝向将辊的下部容纳在壳体的上部而能够清洗该辊。另外，通过增加清洗单元，将壳体的开口部的长度方向朝向基板的宽度方向配置，也能够清洗该基板的背面。
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