公开(公告)号：CN103930591A

公开(公告)日：2014-07-16

申请号：CN201280049766.8

申请日：2012-10-11

Applicant: 株式会社爱发科

Inventor： 原田宣弘 ,  松本博 ,  新田纯一 ,  门胁丰 ,  赤松泰彦

IPC: C23C14/34

CPC classification number: C23C14/3414 ,  B22F1/0003 ,  C22C1/03 ,  C22C9/00 ,  C23C24/04

Abstract: 本发明提供一种将合金靶材或化合物靶材通过冷喷涂法能够制造稳定的靶组合件及其制造方法。本发明的一个实施方式的靶组合件的制造方法包含制作由金属元素构成的第1粉末和以所述金属元素为主要成分的合金或化合物形成的第2粉末的混合粉末，然后，以所述混合粉末为原料通过冷喷涂法在基体表面上形成由所述金属元素的合金或化合物形成的靶材层。由此，通过冷喷涂法能够制造稳定的合金靶材或化合物靶材。