公开(公告)号：CN101946022B

公开(公告)日：2012-10-24

申请号：CN200880126755.9

申请日：2008-04-14

Applicant: 株式会社爱发科

Inventor： 横井伸 ,  野村常仁 ,  中塚笃 ,  多田勋

IPC: C23C14/58 ,  C23C14/14 ,  C23C14/56

CPC classification number: C23C14/562 ,  C23C14/541

Abstract: 本发明提供一种卷绕式真空成膜装置，其技术既不需增大装置，还可防止因从去除电荷机构中泄漏出来的带电粒子而引起的基材的热变形。本发明中的卷绕式真空成膜(蒸镀)装置(10)包括电荷捕捉部件(25)，其设置在冷却用筒式辊(14)和去除电荷机构(23)之间，用以捕捉从去除电荷机构(23)朝向筒式辊(14)移动的带电粒子。有了上述电荷捕捉部件就可阻止从去除电荷机构(23)中泄漏出来的带电粒子到达筒式辊(14)，从而遏制供给筒式辊(14)的用来使之贴紧基材的偏压电势产生变动，可靠地保持了对基材(12)的静电引力。因此，该卷绕式真空成膜装置能可靠地保持基材(12)和筒式辊(14)之间的贴合力，从而可防止基材(12)产生热变形。

公开(公告)号：CN100562602C

公开(公告)日：2009-11-25

申请号：CN200680000343.1

申请日：2006-02-14

Applicant: 株式会社爱发科

Inventor： 林信博 ,  横井伸 ,  多田勋 ,  中塚笃

IPC: C23C14/56

CPC classification number: C23C14/042 ,  C23C14/54 ,  C23C14/562

Abstract: 本发明提供一种卷取式真空成膜装置，该卷取式真空成膜装置能够抑制绝缘性的原料薄膜的热变形，以高速成膜金属膜，谋求提高生产性，进而，能够提高薄膜的除电效果。其中，具有电子束照射器(21)、辅助辊(18)、直流偏压电源(22)、除电单元(23)，该电子束照射器(21)被配置在卷放辊(13)和蒸发源(16)之间，向原料薄膜(12)照射荷电粒子；该辅助辊(18)被配置在冷却用筒式辊(14)和卷取辊(15)之间，并与原料薄膜(12)的成膜面接触，对该原料薄膜(12)的行进进行引导；该直流偏压电源(22)对筒式辊(14)和辅助辊(18)之间施加直流电压；该除电单元(23)配置在筒式辊(14)和卷取辊(15)之间，对原料薄膜(12)进行除电，该除电单元(23)由一方的电极接地的直流二极放电型等离子发生源构成。

公开(公告)号：CN101946022A

公开(公告)日：2011-01-12

申请号：CN200880126755.9

申请日：2008-04-14

Applicant: 株式会社爱发科

Inventor： 横井伸 ,  野村常仁 ,  中塚笃 ,  多田勋

IPC: C23C14/58 ,  C23C14/14 ,  C23C14/56

CPC classification number: C23C14/562 ,  C23C14/541

Abstract: 本发明提供一种卷绕式真空成膜装置，其技术既不需增大装置，还可防止因从去除电荷机构中泄漏出来的带电粒子而引起的基材的热变形。本发明中的卷绕式真空成膜(蒸镀)装置(10)包括电荷捕捉部件(25)，其设置在冷却用筒式辊(14)和去除电荷机构(23)之间，用以捕捉从去除电荷机构(23)朝向筒式辊(14)移动的带电粒子。有了上述电荷捕捉部件就可阻止从去除电荷机构(23)中泄漏出来的带电粒子到达筒式辊(14)，从而遏制供给筒式辊(14)的用来使之贴紧基材的偏压电势产生变动，可靠地保持了对基材(12)的静电引力。因此，该卷绕式真空成膜装置能可靠地保持基材(12)和筒式辊(14)之间的贴合力，从而可防止基材(12)产生热变形。

公开(公告)号：CN1969057A

公开(公告)日：2007-05-23

申请号：CN200680000343.1

申请日：2006-02-14

Applicant: 株式会社爱发科

Inventor： 林信博 ,  横井伸 ,  多田勋 ,  中塚笃

IPC: C23C14/56

CPC classification number: C23C14/042 ,  C23C14/54 ,  C23C14/562

Abstract: 本发明提供一种卷取式真空成膜装置，该卷取式真空成膜装置能够抑制绝缘性的原料薄膜的热变形，以高速成膜金属膜，谋求提高生产性，进而，能够提高薄膜的除电效果。其中，具有电子束照射器(21)、辅助辊(18)、直流偏压电源(22)、除电单元(23)，该电子束照射器(21)被配置在卷放辊(13)和蒸发源(16)之间，向原料薄膜(12)照射荷电粒子；该辅助辊(18)被配置在冷却用筒式辊(14)和卷取辊(15)之间，并与原料薄膜(12)的成膜面接触，对该原料薄膜(12)的行进进行引导；该直流偏压电源(22)对筒式辊(14)和辅助辊(18)之间施加直流电压；该除电单元(23)配置在筒式辊(14)和卷取辊(15)之间，对原料薄膜(12)进行除电，该除电单元(23)由一方的电极接地的直流二极放电型等离子发生源构成。

公开(公告)号：CN300708606D

公开(公告)日：2007-11-14

申请号：CN200630189344.8

申请日：2006-11-20

Applicant: 株式会社爱发科

Designer： 横井伸 ,  多田勲 ,  中塚笃

Abstract: 1.本外观设计产品为重型设备，省略仰视图。