公开(公告)号：CN107710399B

公开(公告)日：2021-04-16

申请号：CN201780002185.1

申请日：2017-04-28

Applicant: 株式会社爱发科

Inventor： 酒田现示 ,  横尾秀和 ,  相原强 ,  北河胜 ,  渡边章

IPC: H01L21/683 ,  H01L21/3065 ,  H02N13/00

Abstract: 本发明的静电吸盘(13)具备：电介质层(41)，其具备板状的托盘支承部(41a)和基板支承部(41b)，托盘支承部(41a)具有表面(41S)，基板支承部(41b)从表面(41S)突出；基板用电极(42)，其位于基板支承部(41b)的内部，用于将基板吸附于基板支承部(41b)；以及托盘用电极(43)，其位于托盘支承部(41a)的内部，用于将供载置基板的托盘吸附于托盘支承部(41a)。

公开(公告)号：CN107710399A

公开(公告)日：2018-02-16

申请号：CN201780002185.1

申请日：2017-04-28

Applicant: 株式会社爱发科

Inventor： 酒田现示 ,  横尾秀和 ,  相原强 ,  北河胜 ,  渡边章

IPC: H01L21/683 ,  H01L21/3065 ,  H02N13/00

CPC classification number: H01L21/3065 ,  H01L21/683 ,  H02N13/00

Abstract: 本发明的静电吸盘(13)具备：电介质层(41)，其具备板状的托盘支承部(41a)和基板支承部(41b)，托盘支承部(41a)具有表面(41S)，基板支承部(41b)从表面(41S)突出；基板用电极(42)，其位于基板支承部(41b)的内部，用于将基板吸附于基板支承部(41b)；以及托盘用电极(43)，其位于托盘支承部(41a)的内部，用于将供载置基板的托盘吸附于托盘支承部(41a)。