公开(公告)号：CN101606216A

公开(公告)日：2009-12-16

申请号：CN200880004555.6

申请日：2008-02-18

Applicant: 株式会社爱德万测试

Inventor： 中村隆幸 ,  岩井俊道 ,  信太总一 ,  广山三津雄

IPC: H01J37/28 ,  H01J37/04 ,  G01B15/00 ,  H01L21/66

CPC classification number: G01B15/00 ,  H01J37/045 ,  H01J37/265 ,  H01J37/28 ,  H01J2237/004 ,  H01J2237/24585

Abstract: 本发明提供一种具有测长功能的扫描型电子显微镜以及试样尺寸测定方法，能够减少由测定对象的图案形状引起的测长值的变动并提高测长精度。具有测长功能的扫描型电子显微镜具有：电子枪，其发射电子束；测定对象区域设定部，其设定形成在试样上的图案的测定区域；存储部，其记录所指定的测定区域；束闸部，其根据测定区域来控制电子束的照射；以及控制部，其从存储部提取所指定的测定区域，对于该测定区域以外的区域，由束闸部来阻断电子束，对于该测定区域，使通过了所述束闸部的电子束照射在试样上来取得该测定区域的图像，并进行图案的测长。也可以是，测定区域是一对测定区域，各测定区域的面积相等。