电子部件处理装置及电子部件测试装置

    公开(公告)号:CN110850259A

    公开(公告)日:2020-02-28

    申请号:CN201910665958.5

    申请日:2019-07-23

    Abstract: 本发明提供即使为在测试中产生急剧的温度变化的类型的DUT也能够将DUT的温度控制在适当的范围内的电子部件处理装置。电子部件处理装置(50)包括:调整DUT(90)的温度的温度调整装置(70);基于温度检测电路(92)的检测结果来运算DUT(90)的温度的第一运算部(86);控制温度调整装置(70)的温度控制部(87);以及接收从测试器(10)输出的第一信号(S1)的第一接收部(81),温度控制部(87)执行的温度控制包括:基于由第一运算部(86)运算出的DUT(90)的温度的第一温度控制;和与第一温度控制不同的第二温度控制,在开始第一温度控制后,在所述第一接收部接收到所述第一信号的情况下,温度控制部(87)将DUT(90)的温度控制从第一温度控制切换为所述第二温度控制。

    电子部件处理装置及电子部件测试装置

    公开(公告)号:CN110850259B

    公开(公告)日:2022-07-08

    申请号:CN201910665958.5

    申请日:2019-07-23

    Abstract: 本发明提供即使为在测试中产生急剧的温度变化的类型的DUT也能够将DUT的温度控制在适当的范围内的电子部件处理装置。电子部件处理装置(50)包括:调整DUT(90)的温度的温度调整装置(70);基于温度检测电路(92)的检测结果来运算DUT(90)的温度的第一运算部(86);控制温度调整装置(70)的温度控制部(87);以及接收从测试器(10)输出的第一信号(S1)的第一接收部(81),温度控制部(87)执行的温度控制包括:基于由第一运算部(86)运算出的DUT(90)的温度的第一温度控制;和与第一温度控制不同的第二温度控制,在开始第一温度控制后,在所述第一接收部接收到所述第一信号的情况下,温度控制部(87)将DUT(90)的温度控制从第一温度控制切换为所述第二温度控制。

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