图案形状物及其制造方法

    公开(公告)号:CN100401860C

    公开(公告)日:2008-07-09

    申请号:CN200510069086.4

    申请日:2005-05-10

    Abstract: 本发明公开了一种图案形状物及其制造方法。该图案形状物包括由粒子聚集体构成的图案,用于支撑图案的支撑元件,和在图案与支撑元件边界处形成的混合层。混合层由粒子和支撑元件的混合物构成。在混合层以外的部分内的粒子尺寸大于混合层内的粒子尺寸。

    图案形状物及其制造方法

    公开(公告)号:CN1697588A

    公开(公告)日:2005-11-16

    申请号:CN200510069086.4

    申请日:2005-05-10

    Abstract: 本发明公开了一种图案形状物及其制造方法。该图案形状物包括由粒子聚集体构成的图案,用于支撑图案的支撑元件,和在图案与支撑元件边界处形成的混合层。混合层由粒子和支撑元件的混合物构成。在混合层以外的部分内的粒子尺寸大于混合层内的粒子尺寸。

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