公开(公告)号：CN109791116B

公开(公告)日：2021-06-18

申请号：CN201780059601.1

申请日：2017-08-31

Applicant: 株式会社理学

Inventor： 加藤秀一 ,  山田隆 ,  片冈由行

IPC: G01N23/223 ,  G01N23/207

Abstract: 一种波长色散型荧光X射线分析装置，包括单一的一维检测器(10)，该一维检测器(10)具有呈直线状排列的多个检测元件(7)，该波长色散型荧光X射线分析装置包括检测器位置变更机构(11)，该检测器位置变更机构(11)用于针对一维检测器(10)的位置，设定在检测元件(7)的排列方向与分光元件(6)中的分光角度方向平行的平行位置和与该分光元件(6)中的分光角度方向相交叉的交叉位置中的任意者，在平行位置，一维检测器(10)的感光面位于汇聚二次X射线(42)的焦点处，在交叉位置，感光狭缝(9)设置于汇聚二次X射线(42)的焦点处，一维检测器(10)的感光面位于感光狭缝(9)的与分光元件(6)离开的汇聚二次X射线(42)的行进方向侧。

公开(公告)号：CN109791116A

公开(公告)日：2019-05-21

申请号：CN201780059601.1

申请日：2017-08-31

Applicant: 株式会社理学

Inventor： 加藤秀一 ,  山田隆 ,  片冈由行

IPC: G01N23/223 ,  G01N23/207

CPC classification number: G01N23/223 ,  G01N23/207 ,  G01N2223/076 ,  G01N2223/315

Abstract: 一种波长色散型荧光X射线分析装置，包括单一的一维检测器(10)，该一维检测器(10)具有呈直线状而排列的多个检测元件(7)，该波长色散型荧光X射线分析装置包括检测器位置变更机构(11)，该检测器位置变更机构(11)用于针对一维检测器(10)的位置，设定在检测元件(7)的排列方向与分光元件(6)中的分光角度方向平行的平行位置和与该分光元件(6)中的分光角度方向相交叉的交叉位置中的任意者，在平行位置，一维检测器(10)的感光面位于汇聚二次X射线(42)的焦点处，在交叉位置，感光狭缝(9)设置于汇聚二次X射线(42)的焦点处，一维检测器(10)的感光面位于感光狭缝(9)的与分光元件(6)离开的汇聚二次X射线(42)的行进方向侧。

公开(公告)号：CN109196340A

公开(公告)日：2019-01-11

申请号：CN201780028012.7

申请日：2017-08-31

Applicant: 株式会社理学

Inventor： 加藤秀一 ,  片冈由行 ,  藤村一 ,  山田隆

IPC: G01N23/223 ,  G01N23/207

Abstract: 本发明的波长分散型荧光X射线分析装置包括：位置敏感型检测器(10)，该位置敏感型检测器(10)通过对应的检测元件(7)，检测不同的分光角度的二次X射线(41)的各强度；测定波谱显示机构(14)，该测定波谱显示机构(14)将检测元件(7)的排列方向的位置和检测元件的检测强度的关系作为测定波谱而显示于显示器(15)中；检测区域设定机构(16)，该检测区域设定机构(16)设定峰值区域和本底区域；定量机构(17)，该定量机构(17)根据峰值区域的峰值强度、本底区域的本底强度与本底补偿系数，计算作为净强度的测定对象的荧光X射线的强度，进行定量分析。

公开(公告)号：CN107110798A

公开(公告)日：2017-08-29

申请号：CN201580069728.2

申请日：2015-10-02

Applicant: 株式会社理学

Inventor： 表和彦 ,  山田隆

IPC: G01N23/223

CPC classification number: G01N23/223 ,  G01N15/0211 ,  G01N23/2055 ,  G01N23/2076 ,  G01N23/22 ,  G21K1/02 ,  G21K1/04 ,  G21K1/06 ,  G21K1/062

Abstract: 本发明的掠入射荧光X射线分析装置(1)包括：X射线源(2)；弯曲分光元件(4)，该弯曲分光元件(4)对从X射线源(2)所放射的X射线(3)进行分光，形成汇聚于试样(S)的表面的一定位置(15)的X射线束(5)；狭缝(6)，该狭缝(6)设置于弯曲分光元件(4)和试样(S)之间，具有线状开口(61)；狭缝移动机构(7)，该狭缝移动机构(7)将狭缝(6)移动到与通过线状开口(61)的X射线束(5)相交叉的方向；掠射角设定机构(8)，该掠射角设定机构(8)在通过狭缝移动机构(7)移动狭缝(6)后，将X射线束(5)的掠射角(α)设定在所需的角度；检测器(10)，该检测器(10)测定从照射了X射线束(5)的试样(S)而产生的荧光X射线(9)的强度。

公开(公告)号：CN109196340B

公开(公告)日：2020-11-03

申请号：CN201780028012.7

申请日：2017-08-31

Applicant: 株式会社理学

Inventor： 加藤秀一 ,  片冈由行 ,  藤村一 ,  山田隆

IPC: G01N23/223 ,  G01N23/207

Abstract: 本发明的波长分散型荧光X射线分析装置包括：位置敏感型检测器(10)，该位置敏感型检测器(10)通过对应的检测元件(7)，检测不同的分光角度的二次X射线(41)的各强度；测定波谱显示机构(14)，该测定波谱显示机构(14)将检测元件(7)的排列方向的位置和检测元件的检测强度的关系作为测定波谱而显示于显示器(15)中；检测区域设定机构(16)，该检测区域设定机构(16)设定峰值区域和本底区域；定量机构(17)，该定量机构(17)根据峰值区域的峰值强度、本底区域的本底强度与本底补偿系数，计算作为净强度的测定对象的荧光X射线的强度，进行定量分析。

公开(公告)号：CN107110798B

公开(公告)日：2019-08-16

申请号：CN201580069728.2

申请日：2015-10-02

Applicant: 株式会社理学

Inventor： 表和彦 ,  山田隆

IPC: G01N23/223

CPC classification number: G01N23/223 ,  G01N15/0211 ,  G01N23/2055 ,  G01N23/2076 ,  G01N23/22 ,  G21K1/02 ,  G21K1/04 ,  G21K1/06 ,  G21K1/062

Abstract: 本发明的掠入射荧光X射线分析装置(1)包括：X射线源(2)；弯曲分光元件(4)，该弯曲分光元件(4)对从X射线源(2)所放射的X射线(3)进行分光，形成汇聚于试样(S)的表面的一定位置(15)的X射线束(5)；狭缝(6)，该狭缝(6)设置于弯曲分光元件(4)和试样(S)之间，具有线状开口(61)；狭缝移动机构(7)，该狭缝移动机构(7)将狭缝(6)移动到与通过线状开口(61)的X射线束(5)相交叉的方向；掠射角设定机构(8)，该掠射角设定机构(8)在通过狭缝移动机构(7)移动狭缝(6)后，将X射线束(5)的掠射角(α)设定在所需的角度；检测器(10)，该检测器(10)测定从照射了X射线束(5)的试样(S)而产生的荧光X射线(9)的强度。