公开(公告)号：CN105593670A

公开(公告)日：2016-05-18

申请号：CN201480052656.6

申请日：2014-01-27

Applicant: 株式会社理学

Inventor： 小林信太郎 ,  光永徹 ,  梶芳功系兆 ,  新井和良

IPC: G01N23/207

CPC classification number: G01N23/207 ,  G01N2223/3301

Abstract: 不使用后级受光狭缝就能够变更测定分辨率，并且对于在使用后级受光狭缝的情况下无法实现的测定分辨率的变更也能够灵活地应对。本发明的X射线衍射装置对试样台(7)上的试样(S)照射由X射线源产生的X射线，利用检测器(15)来检测在该试样(S)处衍射后的X射线，具备虚拟掩模设定部(26)和信号处理部(21)。检测器(15)按形成检测面(17)的多个检测元件(16)的每个检测元件(16)，输出与由检测元件(16)接收到的X射线的强度相应的检测信号。虚拟掩模设定部(26)对检测器(15)的检测面(17)设定虚拟掩模(31)，并且至少能够设定虚拟掩模的开口尺寸来作为虚拟掩模(31)的开口条件，其中，该虚拟掩模的开口尺寸是在X方向和Y方向上独立地设定的。信号处理部(21)根据由虚拟掩模设定部(26)设定的虚拟掩模的开口条件对从检测器(15)输出的检测信号进行处理。

公开(公告)号：CN105593670B

公开(公告)日：2019-06-04

申请号：CN201480052656.6

申请日：2014-01-27

Applicant: 株式会社理学

Inventor： 小林信太郎 ,  光永徹 ,  梶芳功系兆 ,  新井和良

IPC: G01N23/207

CPC classification number: G01N23/207 ,  G01N2223/3301

Abstract: 不使用后级受光狭缝就能够变更测定分辨率，并且对于在使用后级受光狭缝的情况下无法实现的测定分辨率的变更也能够灵活地应对。本发明的X射线衍射装置对试样台(7)上的试样(S)照射由X射线源产生的X射线，利用检测器(15)来检测在该试样(S)处衍射后的X射线，具备虚拟掩模设定部(26)和信号处理部(21)。检测器(15)按形成检测面(17)的多个检测元件(16)的每个检测元件(16)，输出与由检测元件(16)接收到的X射线的强度相应的检测信号。虚拟掩模设定部(26)对检测器(15)的检测面(17)设定虚拟掩模(31)，并且至少能够设定虚拟掩模的开口尺寸来作为虚拟掩模(31)的开口条件，其中，该虚拟掩模的开口尺寸是在X方向和Y方向上独立地设定的。信号处理部(21)根据由虚拟掩模设定部(26)设定的虚拟掩模的开口条件对从检测器(15)输出的检测信号进行处理。