公开(公告)号：CN100514095C

公开(公告)日：2009-07-15

申请号：CN200410062874.6

申请日：2004-07-02

Applicant: 株式会社瑞萨科技

Inventor： 山田哲也 ,  上野敦史 ,  冈川崇

IPC: G02B5/30

CPC classification number: G03B27/72 ,  G03F7/70308

Abstract: 透过起偏器(21)的偏振光的振幅方向相对于位置(D)成同心圆状。位置(D)与光瞳面的中心一致地配置起偏器(21)。由起偏器(21)变换成偏振光的照明光的光束，相对于光轴形成同心圆状的偏光面而会聚于晶片上。因此，照明光以S偏振光入射到光刻胶。由此，透过光刻胶的光量不易依赖入射角。从而，提高了在光刻胶中形成的光学像的对比度，并改善了析像特性。

公开(公告)号：CN1576908A

公开(公告)日：2005-02-09

申请号：CN200410062874.6

申请日：2004-07-02

Applicant: 株式会社瑞萨科技

Inventor： 山田哲也 ,  上野敦史 ,  冈川崇

IPC: G02B5/30

CPC classification number: G03B27/72 ,  G03F7/70308

Abstract: 透过起偏器(21)的偏振光的振幅方向相对于位置(D)成同心圆状。位置(D)与光瞳面的中心一致地配置起偏器(21)。由起偏器(21)变换成偏振光的照明光的光束，相对于光轴形成同心圆状的偏光面而会聚于晶片上。因此，照明光以S偏振光入射到光刻胶。由此，透过光刻胶的光量不易依赖入射角。从而，提高了在光刻胶中形成的光学像的对比度，并改善了析像特性。