公开(公告)号：CN1576908A

公开(公告)日：2005-02-09

申请号：CN200410062874.6

申请日：2004-07-02

Applicant: 株式会社瑞萨科技

Inventor： 山田哲也 ,  上野敦史 ,  冈川崇

IPC: G02B5/30

CPC classification number: G03B27/72 ,  G03F7/70308

Abstract: 透过起偏器(21)的偏振光的振幅方向相对于位置(D)成同心圆状。位置(D)与光瞳面的中心一致地配置起偏器(21)。由起偏器(21)变换成偏振光的照明光的光束，相对于光轴形成同心圆状的偏光面而会聚于晶片上。因此，照明光以S偏振光入射到光刻胶。由此，透过光刻胶的光量不易依赖入射角。从而，提高了在光刻胶中形成的光学像的对比度，并改善了析像特性。

公开(公告)号：CN100514095C

公开(公告)日：2009-07-15

申请号：CN200410062874.6

申请日：2004-07-02

Applicant: 株式会社瑞萨科技

Inventor： 山田哲也 ,  上野敦史 ,  冈川崇

IPC: G02B5/30

CPC classification number: G03B27/72 ,  G03F7/70308

Abstract: 透过起偏器(21)的偏振光的振幅方向相对于位置(D)成同心圆状。位置(D)与光瞳面的中心一致地配置起偏器(21)。由起偏器(21)变换成偏振光的照明光的光束，相对于光轴形成同心圆状的偏光面而会聚于晶片上。因此，照明光以S偏振光入射到光刻胶。由此，透过光刻胶的光量不易依赖入射角。从而，提高了在光刻胶中形成的光学像的对比度，并改善了析像特性。

公开(公告)号：CN101201388A

公开(公告)日：2008-06-18

申请号：CN200710199829.9

申请日：2007-12-13

Applicant: 株式会社瑞萨科技

Inventor： 大津贺一雄 ,  山田哲也 ,  长田健一 ,  菅野雄介

IPC: G01R31/28 ,  G01R19/00 ,  H01L27/02

Abstract: 本发明提供一种片内电流测量方法和半导体集成电路，用于测量芯片在正常工作状态下的电路块的电流。该半导体集成电路包括：具有预定功能的电路块(C1)；能对上述电路块提供工作用电源的电源开关(PSW1)；以及根据上述电源开关被接通状态下的电源开关的端子间电压和电源开关的导通电阻，算出流入上述电路块的电流的电流测量电路(100)。根据上述电源开关被接通状态下的上述电源开关的端子间电压和上述电源开关的导通电阻，算出流入上述电路块的电流，从而能够测量芯片在正常工作状态下的电路块的电流。