公开(公告)号：CN1952667A

公开(公告)日：2007-04-25

申请号：CN200610159560.7

申请日：2006-09-27

Applicant: 株式会社瑞萨科技

Inventor： 春日部进 ,  庄司照雄 ,  长谷部昭男 ,  出口善宣 ,  成康则

IPC: G01R1/067 ,  G01R1/073 ,  G01R31/26 ,  G01R31/28 ,  H01L21/66

CPC classification number: G01R1/0735 ,  G01R3/00

Abstract: 一种探针卡，具有探针片(4)和多层布线基板(50)，探针片(4)具有与设置在晶片(1)的电极(3)接触的接触端子(4a)、从接触端子(4a)引导的布线(4c)、和与引出布线(4c)电连接的电极(4d)，多层布线基板(50)具有与探针片(4)的电极(4d)电连接的电极(50a)，接触端子(4a)和晶片(1)的电极(3)的接触通过设置1个或多个粘贴架(5)进行，上述粘接架(5)从接触端子(4a)的端子群的背面通过具有弹簧(5a)的推块(5b)使端子群受到压力而与电极(3)接触。将探针片(4)粘贴在粘贴架(5)，组合该粘贴架(5)构成同时检测多个芯片的装置。