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发明公开
工件支承装置、工件处理装置、工件输送装置、工件支承方法及工件处理方法审中-实审

公开(公告)号：CN114102370A

公开(公告)日：2022-03-01

申请号：CN202110984857.1

申请日：2021-08-25

Applicant: 株式会社荏原制作所

Inventor： 柏木诚 , 伊泽真于

IPC: B24B21/04 , B24B21/18 , B24B21/20 , B24B41/06 , B24B57/02 , H01L21/683

Abstract: 本发明的目的在与提供一种在使用伯努利吸盘支承工件时，能够维持吸附力，并且能够防止工件的表面的干燥的工件支承装置、工件处理装置、工件输送装置、工件支承方法及工件处理方法。工件支承装置(12)具备：通过喷射气体而产生吸引力的伯努利吸盘(14)；配置为包围伯努利吸盘(14)，并在伯努利吸盘(14)的周围排出液体的液体排出部件(13)。

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